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行業(yè)產(chǎn)品

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2024-08-21 08:01:06瀏覽次數(shù):142次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品型號:ATLEX-LR品牌名稱:德國ATLLasertechnikATLEX-LR系列適合低負荷使用,專門為激光剝蝕(LaserAblation)而設(shè)計;激光為193nm輸出優(yōu)化,同時具有非??斓纳仙睾透叻逯倒β?/p>

詳細介紹


產(chǎn)品型號:ATLEX-LR

品牌名稱:德國ATL Lasertechnik

  

ATLEX-LR 系列適合低負荷使用,專門為激光剝蝕(Laser Ablation) 設(shè)計;激光為193nm 輸出優(yōu)化,同時具有非??斓纳仙睾透叻逯倒β?。

 

產(chǎn)品特點:

 

· 軟電暈預(yù)電離

· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器

· 激光頭容積 < 3L

· TMC(全金屬陶瓷)管路

· 集成真空泵和鹵素過濾器

· 全部風(fēng)冷,主動熱管理

· RS-485、RS232、USB光纖接口

· 可沖洗光具座

· 能量穩(wěn)定模式

· 符合歐洲CE標準

· 符合RoHS規(guī)范

 

產(chǎn)品參數(shù):

 

ATLEX-LR產(chǎn)品參數(shù)

氣體介質(zhì)

ArF

單位

波長

193

nm

脈沖能量1

12

mJ

能量穩(wěn)定選項輸出

10

mJ

脈沖寬度2

5

ns

光束尺寸2(V x H)

4 x 6

mm

光束發(fā)散角2(V x H)

1 x 2

mrad

能量穩(wěn)定性(標準偏差)

< 2

%

尺寸(長x寬x高)

540 x 470 x 370

mm

重量

60

kg

冷卻

Air

 

電力需求

230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz

 

所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù),如有因產(chǎn)品改進而更改的,恕不另行通知。

1 在重復(fù)頻率情況下測得: 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。

2 典型值,FWHM


關(guān)鍵詞:真空泵

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