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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司


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VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間:2025-05-08 08:40:43瀏覽次數(shù):71次

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商鋪產(chǎn)品:201條

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聯(lián)系人:黃皇

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介:VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀,包含一個2英寸水冷靶頭(另有1英寸靶頭可選)和可旋轉(zhuǎn)樣品臺

詳細(xì)介紹

 

 

產(chǎn)品簡介: VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀, 包含一個 2 英寸水 冷靶頭(另有 1 英寸靶頭可選) 和可旋轉(zhuǎn)樣品臺。水冷靶頭使鍍膜后的樣品表面不會因鍍膜溫度過高而變 形, 甚至損壞樣品; 樣品臺可旋轉(zhuǎn),可以使樣品邊旋轉(zhuǎn)邊鍍膜使鍍膜后的樣品表面膜后均勻。設(shè)備外形小 巧,性價比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設(shè)備使用。    

 VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀采用 PLC 控制面板對設(shè)備進(jìn)行控制,操作方便直觀。

 

用直流磁控濺射儀可獲得單相 Al 

img6

產(chǎn)品名稱

VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀

產(chǎn)品型號

VTC-16-SM

 

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電源: 220VAC 50/60Hz

 

2、濺射電流: 0-150 mA 可調(diào)

 

3、功率:<2KW

 

4、輸出電壓: 1600VDC max

 

5、濺射腔體

 

采用石英腔體,尺寸: 166mm OD x 150mm ID x 290mm H

密封: 采用 O 形密封圈密封

6 、濺射頭&樣品臺

2 英寸帶水冷的磁控濺射頭(注意:水冷機(jī)不是標(biāo)配) 另有 1 英寸靶頭可選(圖一)

 

一個直徑 50mm 不銹鋼樣品臺,樣品臺可旋轉(zhuǎn), 旋轉(zhuǎn)速率 0-5 RPM    (圖五) 安裝有一可手動操作的濺射擋板(圖二、三)

樣品臺和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍: 30-80mm  (圖二、三)

靶頭支架,可以在非濺射狀態(tài)放置濺射靶頭(圖四)

濺射面積: 4 英寸( max )(參考值,詳情請點擊)

 

 

圖一           圖二       圖三         圖四           圖五

 

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img10

img11

 

實驗效果

 

 

7 、控制面板

6"img12PLC 集成觸摸屏控制面板,可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度

8 、真空系統(tǒng)

 

安裝有 KF25 真空接口

 

 

 

 

對于濺射各種金屬靶材,需要摸索理想的濺射參數(shù),下表是本公司實驗所設(shè)置的參數(shù)

 

靶材種類

真空度(Pa)

濺射電流(mA)

時間(s)

濺射次數(shù)

Au

31-33

28-30

100

1

Ag

31

28

100

1

 

11 、產(chǎn)品外型尺寸

L460 mm × W 330 mm × H 520 mm

凈重: 20 kg (不包含泵及水冷機(jī))

 

 

 

 

 

 

可選配件

可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上(見圖一)

可選加熱樣品臺,加熱溫度可達(dá) 500℃(見圖二、三)

可選浮子流量計來精 確控制進(jìn)氣量(見圖四)

 

 

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圖一             圖二            圖三           圖四

質(zhì)量認(rèn)證

CE 認(rèn)證

 

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持

特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

 

注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機(jī)體。

氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥 (設(shè)備標(biāo)配不包括 保證氣體的輸出壓力限制在 0.02 兆帕以下,以安全使用。 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

 

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