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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地北京市
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更新時間:2025-05-08 08:40:43瀏覽次數(shù):71次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品簡介:VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀,包含一個2英寸水冷靶頭(另有1英寸靶頭可選)和可旋轉(zhuǎn)樣品臺
產(chǎn)品簡介: VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀, 包含一個 2 英寸水 冷靶頭(另有 1 英寸靶頭可選) 和可旋轉(zhuǎn)樣品臺。水冷靶頭使鍍膜后的樣品表面不會因鍍膜溫度過高而變 形, 甚至損壞樣品; 樣品臺可旋轉(zhuǎn),可以使樣品邊旋轉(zhuǎn)邊鍍膜使鍍膜后的樣品表面膜后均勻。設(shè)備外形小 巧,性價比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設(shè)備使用。
VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀采用 PLC 控制面板對設(shè)備進(jìn)行控制,操作方便直觀。
用直流磁控濺射儀可獲得單相 Al 膜
產(chǎn)品名稱 | VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀 |
產(chǎn)品型號 | VTC-16-SM |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入電源: 220VAC 50/60Hz
2、濺射電流: 0-150 mA 可調(diào) |
| 3、功率:<2KW
4、輸出電壓: 1600VDC( max)
5、濺射腔體
采用石英腔體,尺寸: 166mm OD x 150mm ID x 290mm H 密封: 采用 O 形密封圈密封 6 、濺射頭&樣品臺 2 英寸帶水冷的磁控濺射頭(注意:水冷機(jī)不是標(biāo)配) 另有 1 英寸靶頭可選(圖一)
一個直徑 50mm 不銹鋼樣品臺,樣品臺可旋轉(zhuǎn), 旋轉(zhuǎn)速率 0-5 RPM (圖五) 安裝有一可手動操作的濺射擋板(圖二、三) 樣品臺和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍: 30-80mm (圖二、三) 靶頭支架,可以在非濺射狀態(tài)放置濺射靶頭(圖四) 濺射面積: 4 英寸( max )(參考值,詳情請點擊)
圖一 圖二 圖三 圖四 圖五
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實驗效果 | ||||
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7 、控制面板 6" 8 、真空系統(tǒng)
安裝有 KF25 真空接口 |
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對于濺射各種金屬靶材,需要摸索理想的濺射參數(shù),下表是本公司實驗所設(shè)置的參數(shù)
11 、產(chǎn)品外型尺寸 L460 mm × W 330 mm × H 520 mm 凈重: 20 kg (不包含泵及水冷機(jī)) | |||||||||||||||
可選配件 | 可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上(見圖一) 可選加熱樣品臺,加熱溫度可達(dá) 500℃(見圖二、三) 可選浮子流量計來精 確控制進(jìn)氣量(見圖四)
圖一 圖二 圖三 圖四 | |||||||||||||||
質(zhì)量認(rèn)證 | CE 認(rèn)證 | |||||||||||||||
質(zhì)保期 | 一年保修,終身技術(shù)支持 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機(jī)體。 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥 (設(shè)備標(biāo)配不包括) ,保證氣體的輸出壓力限制在 0.02 兆帕以下,以安全使用。 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶 |
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