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上海永傲精密儀器有限公司


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TESCAN MAIA3 掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：李經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-01-09 17:34:09瀏覽次數(shù)：484次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：44條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：李經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

TESCAN MAIA3 掃描電子顯微鏡 是一款具有超高分辨率的掃描電子顯微鏡，在不同加速電壓下均有著出色的成像能力。
多功能探測器及高空間分辨率，使 MAIA3 型超高分辨掃描電鏡能觀察到樣品較精細的表面細節(jié)。這對于納米材料的綜合表征，半導(dǎo)體工業(yè)中對電子束敏感樣品及未鍍膜的生物樣品等非導(dǎo)電樣品的成像都非常適合。

詳細介紹

突出特點

Triglav™- 新型超高分辨率(UHR) 電子光學(xué)鏡筒

  • TriLens™ 物鏡系統(tǒng)：*的電子束無交叉模式與三物鏡相結(jié)合；
  • 具有多個 SE 及 BSE 探測器的探測系統(tǒng)；
    • TriSE™+TriBE™
  • Triglav™ - 低加速電壓下的超高分辨率: 1 nm ( 1 keV ), 0.7 nm ( 15 keV )；
  • 全新的 EquiPower™技術(shù)進一步提高電子束的穩(wěn)定性；
  • 電子束流高達 400 nA，并能實現(xiàn)電子束能量的快速改變；
  • 優(yōu)化的鏡筒幾何設(shè)計大可容納8”晶圓
  • 實時電子束追蹤技術(shù)（In-Flight Beam Tracing™)可對電子束實時優(yōu)化；
  • 擴展的低真空模式，樣品室氣壓能達到 500 Pa，實現(xiàn)不導(dǎo)電樣品的觀測；
  • *的 TriBE™具有三個 BSE 探測器，可以選擇不同立體角的信號進行采集。位于鏡筒內(nèi)部的 Mid-Angle BSE 和 In-Beam LE-BSE 探測器，分別用于檢測中角及軸向的高角背散射電子，而樣品室的 BSE 探測器用于探測低角背散射電子。三個探測器可以提供不同襯度的圖像，并且能探測到低于 200 eV 的低能背散射信號；
  • *的 TriSE™具有三個 SE 探測器，所有工作模式下二次電子信號的采集都進行了優(yōu)化。位于鏡筒內(nèi)部的 In-Beam SE 探測器能在短工作距離下采集二次電子，SE ( BDM ) 探測器用于電子束減速模式下的超高分辨成像。In-Chamber SE 探測器能提供形貌襯度和立體感；
  • 電子束減速技術(shù)（BDT）可在低至 50 eV 的低電子束能量下實現(xiàn)出色的分辨率（選配）。

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