電液伺服閥是電液伺服控制中的關(guān)鍵元件，它是一種接受模擬電信號后，相應(yīng)輸出調(diào)制的流量和壓力的液壓控制閥。電液伺服閥具有動態(tài)響應(yīng)快、控制精度高、使用壽命長等優(yōu)點，已廣泛應(yīng)用于航空、航天、艦船、冶金、化工等領(lǐng)域的電液伺服控制系統(tǒng)中。

MTS RHM0070UD601A01
MTS RHM0235MD701S 1B6 102
MTS RHM0420MD601A01
MTS RHM0430MP031S1G3100
MTS RHM0460MP031S1G3100
MTS RHM0660MK031S1G3100
MTS RHM0300MD701S1B6102
MTS RHM0750MK051S1G6100

當前在電液伺服閥研制領(lǐng)域的新型材料運用，主要是以壓電元件、超磁致伸縮材料及形狀記憶合金等為基礎(chǔ)的轉(zhuǎn)換器研制開發(fā)。它們各具有其自己的優(yōu)良特性。

1.壓電元件

壓電元件的特點是“壓電效應(yīng)"：在一定的電場作用下會產(chǎn)生外形尺寸的變化，在一定范圍內(nèi)，形變與電場強度成正比。壓電元件的主要材料為壓電陶瓷（PZT）、電致伸縮材料（PMN）等。比較典型的壓電陶瓷材料有日本TOKIN公司的疊堆型壓電伸縮陶瓷等。PZT直動式伺服閥的原理是：在閥芯兩端通過鋼球分別與兩塊多層壓電元件相連。通過壓電效應(yīng)使壓電材料產(chǎn)生伸縮驅(qū)動閥芯移動。實現(xiàn)電-機械轉(zhuǎn)換。PMN噴嘴擋板式伺服閥則在噴嘴處設(shè)置一與壓電疊堆固定連接的擋板，由壓電疊堆的伸、縮實現(xiàn)擋板與噴嘴間的間隙增減，使閥芯兩端產(chǎn)生壓差推動閥芯移動。壓電式電-機械轉(zhuǎn)換器的研制比較成熟并已得到較廣泛的應(yīng)用。它具有頻率響應(yīng)快的特點，伺服閥頻寬甚至能達到上千赫茲，但亦有滯環(huán)大、易漂移等缺點，制約了壓電元件在電液伺服閥上的進一步應(yīng)用。

2.超磁致伸縮材料

超磁致伸縮材料（GMM）與傳統(tǒng)的磁致伸縮材料相比，在磁場的作用下能產(chǎn)生大得多的長度或體積變化。利用GMM轉(zhuǎn)換器研制的直動型伺服閥是把 GMM轉(zhuǎn)換器與閥芯相連，通過控制驅(qū)動線圈的電流，驅(qū)動GMM的伸縮，帶動閥芯產(chǎn)生位移從而控制伺服閥輸出流量。該閥與傳統(tǒng)伺服閥相比不僅有頻率響應(yīng)高的特點，而且具有精度高、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點。在GMM的研制及應(yīng)用方面，美國、瑞典和日本等國處于水平。國內(nèi)浙江大學(xué)利用GMM技術(shù)對氣動噴嘴擋板閥和內(nèi)燃機燃料噴射系統(tǒng)的高速強力電磁閥，進行了結(jié)構(gòu)設(shè)計和特性研究。GMM材料與壓電材料和傳統(tǒng)磁致伸縮材料相比，具有應(yīng)變大、能量密度高、響應(yīng)速度快、輸出力大等特點。世界各國對GMM電-機械轉(zhuǎn)換器及相關(guān)的技術(shù)研究相當重視，GMM技術(shù)水平快速發(fā)展，已由實驗室研制階段逐步進入市場開發(fā)階段。今后還需解決GMM的熱變形、磁晶各向異性、材料腐蝕性及制造工藝、參數(shù)匹配等方面的問題以利于在高科技領(lǐng)域得到廣泛運用。

3.形狀記憶合金

形狀記憶合金（SMA）的特點是具有形狀記憶效應(yīng)。將其在高溫下定型后，冷卻到低溫狀態(tài)，對其施加外力。一般金屬在超過其彈性變形后會發(fā)生變形，而SMA卻在將其加熱到某一溫度之上后，會恢復(fù)其原來高溫下的形狀。利用其特性研制的伺服閥是在閥芯兩端加一組由形狀記憶合金繞制的SMA執(zhí)行器，通過加熱和冷卻的方法來驅(qū)動SMA執(zhí)行器，使閥芯兩端的形狀記憶合金伸長或收縮，驅(qū)動閥芯作用移動，同時加入位置反饋來提高伺服閥的控制性能。從該閥的情況來看，SMA雖變形量大，但其響應(yīng)速度較慢，且變形不連續(xù)，也限制了其應(yīng)用范圍。

KFM 壓力表 KFM160RB100
KFM 控制器92704eq-99b1s2-xLg2r0cstc
KFM 控制器92701 R21802077
KFM 控制器93L31f R20905055
KFM 控制器93MP30mk_F66x
KFM 控制器93MP30g_F66x
KFM 控制器821A30d
KFM 控制器93MR30d
EMG光電傳感器PLE2-500.02C
對中檢測裝置附件LIC 1375/01對中燈管控制器
LLs 1375
LLS875/03光源發(fā)射器
光源發(fā)射器 LIC1375/11
光學(xué)傳感器，EVM2-CP/1810.71/L/R，1810mm，24VDC/0.6A，EMG
光學(xué)傳感器，EVK2-CP/800.71/L/R，800mm，24VDC/0.6A，EMG
糾偏接收裝置EVK2-CP/800.71/L/R
線性光源 LLS 675/02 24VDC/0.5A 品牌：EMG
起升開閉高速制動器推動器 EMG ED301/6
EMG LS13.01測量光電傳感器
EVK2-CP/400.71/L/R EMG 傳感器
EVM2 CP/750.71/L/R傳感器 EMG
LS14.01 EMG 測量光電傳感器
EMG光電式測量傳感器 EVM2-CP/1850 71/L/R
EMG 高頻報警光發(fā)射器 LIH2/30/230.01
EMG LID2-800.2C 對中光源發(fā)射器
EMG LID2-300.2C 對中光源發(fā)射器
EMG LLS 1075 線性光源發(fā)射器
EMG LLS 1075/01 線性光源發(fā)射器
CPC光源 LLS 675/11 Lichtband
EMG LLS 875/02 線性光源發(fā)射器
EMG LLS 675/01 線性光源發(fā)射器
EMG 線性光源發(fā)射器 LLS875/01
EMG對中光源發(fā)射器 LIE 1075/230/50
EMG LLS 475/01 線性光源發(fā)射器
EMG LIC1075/11光源發(fā)射器
ESSV1-10/48/100/6 EMG德國伺服閥現(xiàn)貨

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