簡要描述：該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調節(jié)，其中X方向調節(jié)范圍：0－30mm；y方向調節(jié)高低溫控制真空探針臺 * 范圍：0－13mm；z方向調節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。

詳細介紹

高低溫控制真空探針臺 *的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調節(jié)，其中X方向調節(jié)范圍：0－30mm；y方向調節(jié)范圍：0－13mm；z方向調節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。

高低溫控制真空探針臺 *
腔體材質	304不銹鋼
上蓋開啟	鉸鏈側開
內腔體尺寸	φ140x180
加熱臺材質	304不銹鋼
觀察窗尺寸	φ75
加熱臺尺寸	50x50
加熱臺溫度	室溫-350℃可調
加熱臺溫控誤差	±1℃
真空度	機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
真空抽氣口	KF25
氣體進氣口	3mm-6mm卡套接頭
進氣閥門	高精密針閥
抽氣閥門	KF25真空擋板閥
壓力表	機械壓力表 -0.1-0.15mpa
信號電極	4個
探針數量	4個
探針材質	φ1.5鎢針其他材質可選
探針移動平臺
X軸移動行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.1MM
Y軸移動行程	13MM ±6.5mm
Y軸控制精度	≤0.05MM
Z軸移動行程	13mm ±6.5mm
Z軸控制精度	≤0.05MM
信號電極
電極芯	1芯
電極引出接頭	BNC母頭
電極引出線	銅網信號屏蔽線
BNC引出接頭	X4
額定電流	≤5A
額定電壓	≤220V
電極芯直徑	φ1mm
接觸電阻	≤5MΩ
絕緣電阻	≥1000 MΩ
外殼接地	是
電子顯微鏡
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