簡要描述：小型蒸鍍儀鄭州科探KT-Z1650CVD 電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機是鄭州科探儀器設(shè)備有限公司生產(chǎn)，臺式設(shè)計、軟件自動操控、高性價比，非常適合實驗室科研使用。通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動擋板功能。

詳細介紹

小型蒸鍍儀鄭州科探KT-Z1650CVD是我公司專為科研院所及實驗室用戶群體設(shè)計開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。采用大抽速分子泵準無油高真空系統(tǒng)，機架電控一體化設(shè)計，整體布局緊湊合理，充分考慮人機工程學(xué)的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的玻璃真空室結(jié)構(gòu)相得益彰。兩組/三組蒸發(fā)源可兼容金屬、有機物蒸發(fā)。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等，特別適合太陽能電池、有機EL、LED顯示管研究與開發(fā)領(lǐng)域。

主要特點/優(yōu)勢：

★ 玻璃鐘罩真空腔室，最直觀的蒸發(fā)狀態(tài)和薄膜沉積現(xiàn)象觀察；

★ 復(fù)合分子泵和直聯(lián)旋片泵，大抽速準無油真空系統(tǒng)（分子泵抽速≥400L/S）；

★ 兩組水冷式蒸發(fā)電極，可長時間穩(wěn)定工作，兼容金屬材料與有機材料的蒸發(fā)源設(shè)計；

★ 專業(yè)真空蒸發(fā)電源，數(shù)顯工作電流和電壓，恒流輸出；

★ 可定制一體化高精度刻蝕掩膜板；

★ 襯底可選擇加熱或水冷，源基距≥300mm；

★ 可調(diào)速旋轉(zhuǎn)靶臺使薄膜更均勻

★ 可沉積金屬（Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等）、非金屬、化合物（MoO₃, LiF等）及有機物材料，可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜；

★ 7寸顯示器定時定點調(diào)節(jié)電流，達到控制功率效果

★ 具有記憶儲存功能，直接調(diào)出已儲存的數(shù)據(jù)進行鍍膜達到同樣工藝效果

★ 配置了靶臺擋板，可手動調(diào)節(jié)或自動調(diào)節(jié)擋板，及時遮擋樣品，保證樣品效果

小型蒸鍍儀鄭州科探KT-Z1650CVD技術(shù)資料

控制方式	7寸人機界面手動自動模式切換控制
加熱方式	數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1200W
輸出電壓電流	電壓≤12V 電流≤120A
真空度	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤10^-3Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離	70-140mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)	≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類型	鎢絲藍帶坩堝鎢絲藍鎢舟碳繩
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
可選配擴展	機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）