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桌面小型蒸鍍儀

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更新時(shí)間：2024-04-26 14:34:59瀏覽次數(shù)：67次

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

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桌面小型蒸鍍儀電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) 電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是鄭州科探儀器設(shè)備有限公司生產(chǎn)，臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用

詳細(xì)介紹

桌面小型蒸鍍儀

工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲(chǔ)存；

原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(cè)(QCM)，光學(xué)監(jiān)測(cè)，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測(cè)技術(shù)或控制；

襯底固定：?jiǎn)我r底固定，客戶(hù)化襯底固定方式；

- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；

- 保護(hù)樣品：配有樣品擋板，可手動(dòng)或自動(dòng)開(kāi)/關(guān)擋板，達(dá)到及時(shí)遮擋樣品效果；

不同真空度不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖

原樣品沒(méi)有鍍膜 115A 100秒機(jī)械泵

115A 100秒分子泵抽12分鐘 115A 120秒分子泵抽20分鐘

真空度越高越不易氧化越接近金屬本色

桌面小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式	7寸人機(jī)界面手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
加熱方式	數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1200W
輸出電壓電流	電壓≤12V 電流≤120A
真空度	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤10^-3Pa
擋板類(lèi)型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺(tái)	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離	70-140mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)	≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類(lèi)型	鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟碳繩
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16真空計(jì)接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
可選配擴(kuò)展	機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）數(shù)顯真空計(jì)（測(cè)量范圍大氣壓到0.1Pa）分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）