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大型旋轉(zhuǎn)等離子清洗機(jī)2

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更新時間:2024-04-28 10:12:47瀏覽次數(shù):183次

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產(chǎn)品簡介

大型旋轉(zhuǎn)等離子清洗機(jī),13.56MHz,150W手動匹配,高純石英腔體,工作真空≤50Pa.

詳細(xì)介紹

大型旋轉(zhuǎn)等離子清洗機(jī)

等離子體清洗的機(jī)理,主要是依靠等離子體中活性粒子的"活化作用"達(dá)到去除物體表面污漬的目的。等離子體清洗通常包括以下過程:無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。

等離子體清洗技術(shù)的特點(diǎn)是不分處理對象的基材類型,均可進(jìn)行處理,對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。

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大型旋轉(zhuǎn)等離子清洗機(jī)KT-G1DQX

供電電源

AC220V(AC110V可選)

工作電流

整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

150W

射頻頻率

13.56MHz

頻率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50歐姆,手動匹配

耦合方式

電容耦合

真空度

≤50Pa

腔體材質(zhì)

高純石英

腔體容積

Φ100mmX200mm

旋轉(zhuǎn)速度

20轉(zhuǎn)/分鐘

氣體流量

0—300ml/min

過程控制

手動控制

清洗時間

手0-999秒

外形尺寸

615X390X560mm

重量

56Kg

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

標(biāo)配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網(wǎng)匣1個,電源線一根,說明書一本。





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