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RCU10實時正交補償器

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更新時間:2024-05-24 07:10:15瀏覽次數(shù):80次

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產(chǎn)品簡介

用于實時正交位置反饋的補償系統(tǒng)

詳細介紹

用于實時正交位置反饋的補償系統(tǒng)。

在非真空環(huán)境下使用任何激光尺系統(tǒng)時,都要求某些形式的環(huán)境補償來維持各種環(huán)境條件下的精度。干涉測量的原理取決于激光的波長,該值會根據(jù)傳播激光的空氣的折射率而產(chǎn)生微小變化。

±1 °C的氣溫變化、±3.3 mbar的氣壓變化或者50%相對濕度變化,這些環(huán)境變化會使激光波長和測量結(jié)果之間產(chǎn)生1 ppm的差異。

RCU10單元的輸入和輸出參數(shù)使用雷尼紹配置軟件 (RCU-CS) 進行配置。可通過此頁面底部的鏈接進行下載。

特性與優(yōu)點

  • 精度 — 采用氣壓和溫度傳感器對激光尺進行折射率補償,可將精度提高到±1 ppm以內(nèi)。

  • 生產(chǎn)率提高 — 利用材料溫度傳感器對工件和機器的熱膨脹影響進行補償,可極大提高加工重復精度。

  • 靈活性 — RCU10可對多種輸出數(shù)字正交反饋信號的激光尺和直線光柵進行環(huán)境補償。

配置RCU10系統(tǒng)

定義RCU10系統(tǒng)時,應考慮以下選項:

  • RCU10補償單元可附帶或不附帶內(nèi)置壓力傳感器(分別為RCU10-PX-XX和RCU10-XX-XX)

  • 對于多軸系統(tǒng),最多可通過高速串行通信鏈接連接6個RCU10。如果作為多軸系統(tǒng)的一部分,僅需一個RCU10-PX-XX。

  • 空氣溫度傳感器

  • 材料溫度傳感器

    規(guī)格

    特性折射率補償
    材料膨脹補償
    精度±1 ppm*
    數(shù)據(jù)格式數(shù)字 - RS422正交信號
    模擬 - 1 Vpp正弦/余弦信號
    分辨率數(shù)字 - 可變化至10 nm
    模擬 - 可變化至20 µm
    速度可達5 m/s

    * 數(shù)字輸出狀態(tài)下,須最多加上3個輸入脈沖數(shù)和1個輸出脈沖數(shù);在某些模擬輸出狀態(tài)下,須再加上速度跟隨誤差。

    可選備件

    還提供大量可選附件,與RCU10實時正交補償單元配合使用。

    A-8014-0670串行 / USB轉(zhuǎn)接頭
    RCU10-DB-XX傳感器分配盒
    RCU10-AC-X5傳感器鎧裝電纜 (5 m)
    RCU10-AT-XX空氣溫度傳感器
    RCU10-MT-XX材料溫度傳感器



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