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日本電子JSM-6610掃描電鏡SEM

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JSM-6610 掃描電鏡Z基本的功能是對(duì)各種固體樣品表面進(jìn)行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色，應(yīng)用于生物學(xué)、植物學(xué)、地質(zhì)學(xué)、冶金學(xué)等領(lǐng)域。觀察可以是一個(gè)樣品的表面，也可以是一個(gè)切開的面，或是一個(gè)斷面。

詳細(xì)介紹

JSM-6610 掃描電鏡zui基本的功能是對(duì)各種固體樣品表面進(jìn)行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色，應(yīng)用于生物學(xué)、植物學(xué)、地質(zhì)學(xué)、冶金學(xué)等領(lǐng)域。觀察可以是一個(gè)樣品的表面，也可以是一個(gè)切開的面，或是一個(gè)斷面。冶金學(xué)家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面?？梢院芊奖愕匮芯垦趸锉砻?，晶體的生長(zhǎng)或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品，自然的或制備過的木頭的細(xì)微結(jié)構(gòu)，生物學(xué)家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。例如：花粉顆粒，硅藻和昆蟲。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應(yīng)的立體感強(qiáng)的照片。

在JSM-6610 掃描電鏡應(yīng)用中，很多集中在器件和方面，它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時(shí)局部表面電壓變化的實(shí)際情況，這是因?yàn)檫@種變化會(huì)帶來(lái)象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。利用束感生電流，可以觀測(cè)半導(dǎo)體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷。

電子束與樣品作用區(qū)內(nèi)，還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性質(zhì)有關(guān)信號(hào)。例如：與樣品化學(xué)成分分布相關(guān)的，背散射電子，特征X射線，俄歇電子，陰極熒光，樣品吸收電流等；與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的，背散射電子衍射現(xiàn)象的探測(cè)；與半導(dǎo)體材料電學(xué)性能相關(guān)的，二次電子信號(hào)、電子束感生電流信號(hào)；在觀察薄樣品時(shí)產(chǎn)生的透射電子信號(hào)等。目前分別有商品化的探測(cè)器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室，用于探測(cè)和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信息。

JSM-6610 掃描電鏡對(duì)于固體材料的研究應(yīng)用非常廣泛，沒有任何一種儀器能夠和其相提并論。對(duì)于固體材料全面特征的描述，掃描電鏡是至關(guān)重要的。

保證分辨率	3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV）
放大倍數(shù)	5至300,000x
加速電壓	0.3kV至30kV
電子槍	工廠預(yù)對(duì)中燈絲
聚光鏡	變焦聚光鏡
物鏡	錐形物鏡
樣品臺(tái)	全對(duì)中樣品臺(tái)
X-Y	125mm-100mm
Z	5mm至80mm
旋轉(zhuǎn)	360°
傾斜	－10°至＋90°
排氣系統(tǒng) （高真空模式）	DPx1，RPx1
排氣系統(tǒng) （低真空模式）	DPx1，RPx2