如微電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需的高純物質(zhì)——— 高純水、高純氣、高純化學(xué)品的相關(guān)專業(yè)技術(shù)等)。這些專業(yè)技術(shù)在風(fēng)淋室設(shè)計(jì)中都是*的,它們必須密切配合,圍繞著產(chǎn)品生產(chǎn)的需要,相互協(xié)調(diào)、統(tǒng)籌安排。
潔凈技術(shù)是一門綜合技術(shù),其核心技術(shù)包括生產(chǎn)工藝技術(shù)及其工藝設(shè)計(jì)、空氣凈化、潔凈建筑以及各類產(chǎn)品生產(chǎn)所需的專業(yè)技術(shù)（如微電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需的高純物質(zhì)——— 高純水、高純氣、高純化學(xué)品的相關(guān)專業(yè)技術(shù)等）。這些專業(yè)技術(shù)在風(fēng)淋室設(shè)計(jì)中都是*的,它們必須密切配合,圍繞著產(chǎn)品生產(chǎn)的需要,相互協(xié)調(diào)、統(tǒng)籌安排。
潔凈廠房的設(shè)計(jì)和建造就是要在做好各相關(guān)專業(yè)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上,做好各項(xiàng)安全設(shè)施——— 消防、防火、防爆、安全報(bào)警,確保風(fēng)淋室的安全運(yùn)行。與此同時(shí),它還要處理好電源、冷源、熱源等動(dòng)力供應(yīng),節(jié)約能源;安排好各類配管配線,確保各種流體介質(zhì)的輸送質(zhì)量,減少材料消耗,方便施工安裝和運(yùn)行維護(hù)。
潔凈生產(chǎn)環(huán)境（潔凈廠房、風(fēng)淋室）先后使用過“無塵車間www.qdjinghua.net”、“無窗廠房”、“密閉廠房”、“空氣懸浮粒子受控的房間”等概念。潔凈廠房的設(shè)計(jì)建造和使用應(yīng)做到不引入或少引入微粒,不產(chǎn)生或少產(chǎn)生微粒,不滯留或少滯留微粒。此外,潔凈廠房還對(duì)溫度、濕度、壓力等參數(shù)按產(chǎn)品生產(chǎn)要求進(jìn)行控制。
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50472）共分15章和4個(gè)附錄。主要內(nèi)容有:總則、術(shù)語、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求、總體設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì)、風(fēng)淋室建筑設(shè)計(jì)、空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)、給水排水設(shè)計(jì)、純水供應(yīng)、氣體供應(yīng)、化學(xué)品供應(yīng)、電氣設(shè)計(jì)、防靜電與接地設(shè)計(jì)、噪聲控制以及微振控制等。
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