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沈陽加野科學(xué)儀器有限公司
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KANOMAX 0.1μm超小型粒子計數(shù)器3950在半導(dǎo)體芯片制造環(huán)境中的應(yīng)用

時間:2024/8/16閱讀:88
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  在半導(dǎo)體芯片制造過程中,對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求非常高,必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路,控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場中超微小顆粒物數(shù)量,以保證產(chǎn)品質(zhì)量和提升產(chǎn)品良率,特別是對于0.1μm粒子的檢測至關(guān)重要。
 
  在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中,粒子計數(shù)器主要應(yīng)用于:
 
  1. Fab廠的制造工藝檢測:在晶圓的光刻、涂膠顯影、刻蝕等多個工藝環(huán)節(jié)中,使用粒子計數(shù)器檢測環(huán)境中的塵埃粒子,確保工藝的精確性。
 
  2. gao端封裝過程:在晶圓切割封裝過程中,粒子計數(shù)器同樣發(fā)揮著關(guān)鍵作用,保證封裝質(zhì)量。
 
  3. 半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)工藝的質(zhì)量監(jiān)測:通過粒子計數(shù)器對設(shè)備工藝點進行監(jiān)控,確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
 
  參考法規(guī)和標準:
 
  粒子計數(shù)器嚴格遵守ISO 21501-4法規(guī),并滿足ISO 14644-1(2015)潔凈室懸浮粒子測試方法的要求,適用于class 1至6級的潔凈室環(huán)境。
0.1μm超小型粒子計數(shù)器在半導(dǎo)體芯片制造環(huán)境中的應(yīng)用
  使用方法:
 
  參照ISO14644-1(2015)法規(guī)的內(nèi)容,針對不同潔凈度等級下監(jiān)測粒徑的上限要求,通過法規(guī)內(nèi)容的計算方法測算采樣點數(shù)及每個點采樣時間,對儀器進行設(shè)定后,按照該方法進行逐個點位測試。
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  KANOMAX公司推出的超小型塵埃粒子計數(shù)器3950-00,同時監(jiān)測0.1μm和0.3μm的單位體積內(nèi)的微小粒子個數(shù),也可作為傳感器嵌入生產(chǎn)設(shè)備實時監(jiān)測作業(yè)現(xiàn)場的超微粒子,為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評定提供依據(jù),為芯片制造保駕護航!
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  Kanomax塵埃粒子計數(shù)器3950-00,不僅將經(jīng)典品質(zhì)傳承,而且實現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中。
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  既往產(chǎn)品尺寸難以嵌入半導(dǎo)體制造裝備中使用,本產(chǎn)品通過壓倒性的小型化,使傳感器嵌入設(shè)備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/div>
0.1μm超小型粒子計數(shù)器在半導(dǎo)體芯片制造環(huán)境中的應(yīng)用
  致輕、致小,采樣量2.83L/min,同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子,4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏,可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)。設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。 
0.1μm超小型粒子計數(shù)器在半導(dǎo)體芯片制造環(huán)境中的應(yīng)用
  KANOMAX 0.1μm超小型粒子計數(shù)器3950在半導(dǎo)體芯片制造環(huán)境中的應(yīng)用
 

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