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產(chǎn)地	進(jìn)口	流量范圍	小流量
儀器種類	實(shí)驗(yàn)室

半導(dǎo)體設(shè)備用0.1μm粒子計(jì)數(shù)器3950-00

半導(dǎo)體設(shè)備用0.1μm粒子計(jì)數(shù)器3950-00

應(yīng)用范圍

作為傳感器嵌入到設(shè)備裝置中

潔凈室的清潔度管理

高清潔度區(qū)域的管理

重視可視性，大畫面，觸摸屏顯示器，可在附帶軟件上顯示測試數(shù)據(jù)

雙通道： 0.1μm 0.3μm

額定流量：2.83umin

通過實(shí)現(xiàn)超小型化設(shè)計(jì)，使粒子計(jì)數(shù)器嵌入裝置設(shè)備成為可

0.1 um測量

4.3英寸彩色液晶

標(biāo)配RS-485,Ethernet,USB

小型化！重量大幅度輕量化

以往的尺寸很難嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中，

本產(chǎn)品通過壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設(shè)備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/span>

半導(dǎo)體設(shè)備用0.1μm粒子計(jì)數(shù)器3950-00

品名		塵埃粒子計(jì)數(shù)器
型號		3950-00
粒子測量	測試方法	光散射法
	粒徑通道	2粒徑（0.1、0.3μm）
	額定流量	0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
	測量時(shí)間	6秒~99分59秒（1次測量時(shí)間）
	間隔時(shí)間	6秒~99分59秒（測量周期）
	采樣次數(shù)	1~999次或連續(xù)測試
	地點(diǎn)設(shè)定	99個(gè)地點(diǎn)
	測量方式	重復(fù)、單次、連續(xù)、計(jì)算
	測量數(shù)據(jù)顯示時(shí)間	1~10秒
	測量數(shù)據(jù)顯示	累計(jì)值∑ 差分值△及柱形圖
	可測濃度	10,000,000個(gè)/m3
	計(jì)數(shù)效率	50±20%（相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子） 100±10%（相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	偽計(jì) 數(shù)	<1個(gè)/35min
	粒徑分辨率	15%以下（相對0.3μm的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	氣源	內(nèi)置泵
顯示器		4.3英寸彩色液晶觸摸屏
通迅功能	本體	USB（Host用于打印機(jī)、USB存儲；Device用于與PC鏈接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
數(shù)據(jù)存儲	媒體	內(nèi)存
數(shù)據(jù)存儲	數(shù)量、格式	10,000個(gè)、CSV格式
顯示語言		英文、日語
電源		AC100~240V
使用環(huán)境	本體	15~35℃、0~85%RH （無結(jié)露）
外形尺寸		W150 X H163 X D228 mm
重量		3.4kg