VEGA3 GM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲(選配LaB6)掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征?；赪indows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

詳細介紹

分析潛力

GM樣品室配備有5軸馬達驅(qū)動樣品臺
多于20個接口，優(yōu)化的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
YAG閃爍器式探頭
可選各種探頭和配件
渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態(tài)
在可變真空模式下可觀測不導(dǎo)電的樣品（XMU型號）
可選樣品室減振方式
3維Metrology軟件提供了三維重構(gòu)與3維測量功能

VEGA3配置

GM型號適合觀測大樣品。

VEGA3 GMH
超大樣品室，高真空模式，適用于觀測大型導(dǎo)電材料。

VEGA3 GMU
可變真空式掃描電鏡，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。

標(biāo)配：

測量
圖象處理
3維掃描
硬度測量
多圖像校準(zhǔn)
對象區(qū)域
自動關(guān)機時間
公差
編程軟件
定位
投影面積
EasySEM^TM

根據(jù)實際配置和需求

配件：

二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）

可移動式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動環(huán)行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數(shù)分辨率（0.1Z）
低真空二次電子探頭
探針電流測量
壓差式防碰撞報警裝置
可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭
冷臺
等，各種配件可供選擇

關(guān)鍵詞：能譜儀波譜儀

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鎢燈絲掃描電鏡 VEGA3 GM

深圳市瑞盛科技有限公司

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