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日本KOSAKA ET200接觸式臺(tái)階粗糙度儀 表面張力儀

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產(chǎn)品型號(hào)ET200

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

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更新時(shí)間:2022-12-01 09:33:26瀏覽次數(shù):613次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日本KOSAKA ET200接觸式臺(tái)階粗糙度儀基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤(pán)、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET 200 能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

詳細(xì)介紹

日本KOSAKA ET200接觸式臺(tái)階粗糙度儀

日本KOSAKA ET200接觸式臺(tái)階粗糙度儀基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤(pán)、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET 200 能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

配備了各種型號(hào)探針,提供了通過(guò)過(guò)程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設(shè)計(jì),可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài),更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。

日本KOSAKA ET200接觸式臺(tái)階儀規(guī)格
一、測(cè)定工件:
1. zui大工件尺寸:φ160mm
2. zui大工件厚度:50mm
3. zui大工件重量:2kg
二、檢出器(pick up):
1. Z方向測(cè)定范圍:Max. 600μm
2. Z方向分解能:0.1nm
3. 測(cè)定力: 10uN ~500uN
4. 觸針半徑:2 μm 60°
5. 驅(qū)動(dòng)方式:直動(dòng)式
6. 再現(xiàn)性:1σ= 1nm(全量程)、1um以下臺(tái)階重現(xiàn)性可達(dá)0.2nm以下
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸):
1. 移動(dòng)量(zui大測(cè)長(zhǎng)):100mm
2. 移動(dòng)的真直度:0.2μm/100mm
3. 移動(dòng),測(cè)定速度:0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale):分解能 0.1μm
四、Z軸:
1. 移動(dòng)量:50mm
2. 移動(dòng)速度:max.2mm/S
3. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
4. 位置決定分解能:0.1μm
五、工件臺(tái):
1. 工件臺(tái)尺寸:φ160mm
2. 機(jī)械手動(dòng)傾斜: ±2° (±1mm/150mm)
六、工件觀察:max.135 倍(可選購(gòu)其它高倍率CCD)
七、床臺(tái):材質(zhì)為花崗巖石
八、防振臺(tái)(選購(gòu)):落地型或桌上型
九、電源:AC220V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量:
W500×D440×H610mm, 120kg(不含防震臺(tái))

KOSAKA LAB ET200微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)(探針接觸式臺(tái)階儀)
株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本*家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無(wú)法被取代的地位。

關(guān)鍵詞:粗糙度儀 臺(tái)階儀

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