多晶硅作為制作太陽(yáng)能電池的主要原料，近年來(lái)得到巨大發(fā)展。不管是改良西門子法還是硅烷法生產(chǎn)工藝中都存在大量過(guò)濾分離器，用于硅粉收集、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結(jié)合諸多項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)，奕卿提出了自己的過(guò)濾工藝解決方案。

污染物及雜質(zhì)：

1.未*反應(yīng)的硅粉顆粒；
2.循環(huán)液帶入的管道中的雜質(zhì)；
3.進(jìn)料帶入的固體粉塵與雜質(zhì)；
4.合成反應(yīng)生成的固體雜質(zhì)；

5.這些顆粒的存在是影響生產(chǎn)穩(wěn)定、換熱效率的重要原因。的過(guò)濾與分離裝置不僅保護(hù)了生產(chǎn)設(shè)備的工藝安全，同時(shí)也提升了產(chǎn)品產(chǎn)量。

高溫尾氣凈化

尾氣過(guò)濾應(yīng)用在多晶硅生產(chǎn)的各個(gè)工藝段,對(duì)多晶硅的生產(chǎn)起到重要作用,尤其目前行業(yè)低位運(yùn)行期間,對(duì)多晶硅產(chǎn)品降低成本至關(guān)重要：

a.廢氣廢液工位的煙氣過(guò)濾；
b.還原爐尾氣分離；
c.氫化爐尾氣分離；
d.硅粉槽硅粉過(guò)濾等。

1、還原尾氣分離

在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過(guò)干法分離后，H2和HCl得以回收利用，在H2回用前需過(guò)濾氣體中含有的未反應(yīng)硅粉和生成的石墨粉，保證氫氣純凈，使氫化反應(yīng)和還原反應(yīng)更穩(wěn)定、。

2、廢氣、廢液焚燒處理

在多晶硅生產(chǎn)工藝中，廢氣廢液處理一直是困擾企業(yè)的難題之一。傳統(tǒng)的噴淋處理工藝，處理成本高，浪費(fèi)嚴(yán)重，環(huán)保問(wèn)題嚴(yán)峻。

解決方案：

奕卿采用干法分離技術(shù)，將廢氣廢液在爐內(nèi)燃燒，生成SiO2粉末，通過(guò)分離收集SiO2粉末產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)效益。同時(shí)解決環(huán)保達(dá)標(biāo)排放問(wèn)題。

工藝優(yōu)勢(shì)：

1廢氣廢液集中處理，工藝流程短，操作簡(jiǎn)單；
2回收的SiO2粉末產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)效益；
3氣體經(jīng)燃燒后，符合環(huán)保要求，可直接放空處理，經(jīng)濟(jì)環(huán)保。