無(wú)塵車(chē)間工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)療器械、生物制藥、手術(shù)室、化學(xué)、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，特別是以微電子、化學(xué)、為代表的行業(yè)，對(duì)于室內(nèi)環(huán)境的要求*。室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境是制約工業(yè)生產(chǎn)，特別是高科技生產(chǎn)能否進(jìn)行的關(guān)鍵因素之一。那么常見(jiàn)的無(wú)塵車(chē)間類(lèi)型有哪幾種呢？一起來(lái)了解一下。
 

　　一、無(wú)塵車(chē)間層流式
 

　　此種方式是根據(jù)空氣氣流運(yùn)動(dòng)成均勻的直線型，空氣由覆蓋率100%的過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于無(wú)塵車(chē)間等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其無(wú)塵車(chē)間等級(jí)為Class1——100。
 

　　其型式可分為二種：
 

　　1.垂直層流式：房間天花板*以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高的潔凈度，在生產(chǎn)過(guò)程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
 

　　優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
 

　　缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板的吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
 

　　2.水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
 

　　優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
 

　　缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
 

　　二、無(wú)塵車(chē)間亂流式
 

　　此種方式是讓空氣通過(guò)空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間，并由無(wú)塵車(chē)間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。此型式適用于無(wú)塵車(chē)間等級(jí)1000-100000級(jí)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。
 

　　優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，無(wú)塵車(chē)間的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高無(wú)塵車(chē)間等級(jí)。
 

　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求的潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
 

　　三、無(wú)塵車(chē)間復(fù)合式
 

　　此種方式是將亂流式及層流式合并使用，可提供局部超潔凈的空氣。
 

　　1.裝局部無(wú)塵車(chē)間：將廣州無(wú)塵車(chē)間等級(jí)10000——100000的亂流無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)潔凈度等級(jí)提高為10——1000級(jí)以上，以便滿足生產(chǎn)條件；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
 

　　2.凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
 

　　3.凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此類(lèi)型需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：①?gòu)椥詳U(kuò)充容易；②維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。