真空爐的真空系統(tǒng)工作時(shí)，先啟動機(jī)械泵、維持泵和擴(kuò)散泵，同時(shí)打開前級閥和維持泵閥，對擴(kuò)散泵內(nèi)進(jìn)行抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到系統(tǒng)某一設(shè)定值時(shí)，羅茨泵啟動，同時(shí)旁路閥打開，前級閥關(guān)閉，此時(shí)對真空室進(jìn)行抽低真空當(dāng)擴(kuò)散泵加熱至規(guī)定溫度并且真空度高于規(guī)定值時(shí)，高閥打開，旁路閥關(guān)閉，前級閥打開。此時(shí)對真空室抽高真空，達(dá)到工藝要求的真空度以后，方可進(jìn)行熱處理工作。熱加工過程完成后，由熱交換器對真空室充入高純氮?dú)膺M(jìn)行強(qiáng)制冷卻，完成整個(gè)工藝過程。
 

　　真空爐的電器故障分析：
 

　　真空爐溫度過高報(bào)警：
 

　　1.先檢查所在工作區(qū)溫控器參數(shù)是否正常，參考其他正常使用中的溫控器校對所有參數(shù)。
 

　　2.根據(jù)電路圖檢查相應(yīng)工作區(qū)的固態(tài)繼電器輸出端是否被擊穿。可在停電后，用萬用表電阻檔測量固態(tài)繼電器輸出端兩點(diǎn)之間的電阻，正常時(shí)，電阻會有幾兆歐以上，如果被擊穿，則幾乎沒有電阻，必須按同型號換上新的。
 

　　3.在通電開機(jī)的情況下，用手輕搖相應(yīng)工作區(qū)內(nèi)的熱電偶探頭，看看所對應(yīng)的溫控器顯示是否跳動幅度很大，如果有此現(xiàn)象，則說明熱電偶探頭接觸不良，需更換新的。
 

　　真空爐顯示溫度偏低：
 

　　1.先檢查所在工作區(qū)溫控器的參數(shù)是否正常，是否有輸出信號。
 

　　2.檢查所對應(yīng)工作區(qū)的熱電偶是否受損，為了驗(yàn)證這些熱電偶是否良好，可將它們跟正常溫控器上的熱電偶互換接到溫控器上，觀察溫度顯示情況。如果確實(shí)是熱電偶損壞，必須更換。
 

　　3.如果溫控器、熱電偶都沒問題，則需要測驗(yàn)發(fā)熱管是否正常通電工作?？稍谕婇_機(jī)后，啟動加熱，根據(jù)電路圖，直接用試電筆測試對應(yīng)工作區(qū)的發(fā)熱管連接的導(dǎo)線，看是否有電到。如果有電到達(dá)，還需要用鉗表測量一下電流是否與其他工作區(qū)的差別，正常情況差異不大。
 

　　4.如果沒有電到達(dá)，則必須按電路圖對電路逐一檢查。