泵工作時振動的產(chǎn)生及其減振措施保證分子泵工作精度的zui主要問題是盡量減少泵工作時的振動。組成分子泵的零部件以及安放它的基礎(chǔ)，都可以認(rèn)為是一個彈性系統(tǒng)。當(dāng)分子泵高速運轉(zhuǎn)工作時，泵在其平衡位置作往復(fù)性機(jī)械運動，即是分子泵的振動。
　　
　　分子泵的振動，主要是其振動零部件的不平衡引起的，主要因素有：
　　
　　1）轉(zhuǎn)子的材質(zhì)不均（包括密度不均和膨脹系數(shù)的不均）；2）渦輪轉(zhuǎn)子的各組成零件在制造中的加工誤差，如同軸度、轉(zhuǎn)子端面的平行度、轉(zhuǎn)子體的不對稱性等等；3）轉(zhuǎn)子的裝配質(zhì)量。如渦輪轉(zhuǎn)子上下葉輪因裝配不當(dāng)產(chǎn)生偏差；渦輪轉(zhuǎn)子在電動機(jī)軸上裝得不正；或裝配時壓緊力不足，高速運轉(zhuǎn)后產(chǎn)生松動等。
　　
　　以上諸因素會造成渦輪轉(zhuǎn)子的質(zhì)量分布不均，形成一定的質(zhì)量偏心，當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時產(chǎn)生不平衡的離心力，從而使分子泵產(chǎn)生有害的振動和噪音。
　　
　?。?）由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速很高，因此防止產(chǎn)生共振也是一個重要問題。在分子泵的設(shè)計中應(yīng)正確地選用工作轉(zhuǎn)速和合理地設(shè)計電動機(jī)的主軸。
　　
　　（3）主軸的支承條件，如軸承的精度、安裝方式、潤滑條件等對分子泵的振動也將產(chǎn)生較大的影響。
　　
　　為了減少分子泵整機(jī)工作時的振動，在泵的設(shè)計制造中應(yīng)采取以下措施：（1）在工藝條件允許的情況下，盡可能提高零部件的加工精度。（2）對電動機(jī)主軸及渦輪轉(zhuǎn)子等旋轉(zhuǎn)零部件進(jìn)行嚴(yán)格的動平衡試驗。（3）為了防止產(chǎn)生共振，確保泵安全運轉(zhuǎn)，泵設(shè)計時，應(yīng)使主軸的工作轉(zhuǎn)速n在其各階臨界轉(zhuǎn)速之外。在軸的初步設(shè)計時，應(yīng)對其臨界轉(zhuǎn)速進(jìn)行驗算，至少使其與工作轉(zhuǎn)速相差20％左右，否則應(yīng)改變軸的尺寸或剛性來達(dá)到上述要求。（4）對主軸軸承的外側(cè)設(shè)置橡膠減振環(huán)。橡膠減振環(huán)除了具有減振、隔音效果外，還有利于越過共振區(qū)，衰減高頻振動和噪音的作用。（5）為減少分子泵的振動向外傳遞以及減少外界振動對分子泵的影響，在分子泵的四個支柱下裝有四個橡膠墊以起到隔振作用。關(guān)于“分子真空泵”其它文章：牽引分子泵結(jié)構(gòu)特點渦輪分子泵的抽氣原理立式和臥式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)特點分子泵產(chǎn)生振動的原因與減振措施渦輪分子泵的應(yīng)用特點復(fù)合式分子泵的結(jié)構(gòu)特點