低真空抽氣機(jī)組的工作壓力范圍約在1330～100Pa之間,其主要特點(diǎn)是工作壓力高、排氣量大,但抽速比中、高真空機(jī)組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大、工作壓力又高的真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣（鋼水處理）等裝置中。
　　
　　低真空抽氣機(jī)組的主泵常用往復(fù)式真空泵、油封式機(jī)械泵、干式機(jī)械泵、水噴射泵、水蒸汽噴射泵、水環(huán)泵,分子篩吸附泵、濕式羅茨泵等。一般情況下,低真空機(jī)組中的主泵均能直接排大氣。使用低真空抽氣機(jī)組,還需要根據(jù)被抽氣體的清潔程度、濕度或其他特殊要求,配置必要的除塵器、水氣分離器、油水分離器、干燥或擋油阱等部件。
　　
　　油封機(jī)械泵機(jī)組抽除可凝性氣體的措施
　　
　　油封機(jī)械泵不適于抽除含有大量水蒸汽的氣體。水蒸汽在壓縮過程中會凝結(jié)成水滴,并與泵油混合形成懸浮液,破壞泵的抽氣性能,使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵,并使泵的工作溫度控制在75～90℃之間,以減少氣鎮(zhèn)閥負(fù)擔(dān);在機(jī)組中安裝水汽分離器或油水分離裝置,將混有水的機(jī)械泵油進(jìn)行處理,處理過的油再進(jìn)入泵中使用;使用各種干燥吸附劑做成捕集阱吸收水蒸汽;使用各種冷凝器或冷阱,不僅能有效地吸附水蒸汽,同時(shí)還可阻擋機(jī)械泵的油蒸汽向真空室的返流。
　　
　　常用低真空機(jī)組型式
　　
　　1.機(jī)械泵2.放氣閥3.熱偶規(guī)4.管道閥
　　
　　圖3油封機(jī)械泵低真空機(jī)組
　　
　　1.機(jī)械泵2.放氣閥3.擋油阱4.熱偶規(guī)5.管道閥
　　
　　圖4有擋油阱的低真空室機(jī)組
　　
　　圖3為油封機(jī)械泵低真空機(jī)組,圖4為油封機(jī)械泵加上擋油阱的抽氣機(jī)組,適用于化學(xué)氣相沉積裝置、真空包裝、醫(yī)藥工業(yè)等領(lǐng)域。
　　
　　1.水環(huán)泵2.止回閥3.管道閥4.大氣噴射泵5.空氣進(jìn)入閥6.排氣閥7.氣水分離器8.排水口
　　
　　圖5雙級水環(huán)泵—大氣噴射泵機(jī)組
　　
　　圖5為由雙級水環(huán)泵和大氣噴射泵串聯(lián)組成的低真空機(jī)組,機(jī)組的極限壓力為1300Pa。工作時(shí),先開動水環(huán)泵,以獲得大氣噴射泵所需的預(yù)真空,使大氣噴射泵的進(jìn)氣口與出氣口之間有壓力差,大氣便通過噴射進(jìn)入泵內(nèi)形成高速運(yùn)動氣流,將被抽氣體吸入,經(jīng)擴(kuò)壓器到前級被水環(huán)泵排走。該機(jī)組適用于真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空浸漬、真空干燥、真空冷凍等工藝過程。