日本motoyama薄膜晶體制造設(shè)備LPE爐技術(shù)

【資料簡(jiǎn)介】

日本motoyama薄膜晶體制造設(shè)備LPE爐技術(shù)

 

設(shè)備概述

LPE（液體，相位，外延）薄膜晶體制造設(shè)備在日本擁有100多個(gè)單位。它由高精度垂直管式爐，旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)軸和控制單元組成，控制單元具有*的溫度控制精度，可實(shí)現(xiàn)高效的薄膜晶體生產(chǎn)。

 

特征

• 優(yōu)異的均熱特性
• 高精度樣品軸旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
• 也可以添加到現(xiàn)有的熔爐中（有限制）

選項(xiàng)

• 惰性氣體引入機(jī)制
• 液體接觸電信號(hào)
• 排氣罩
• 根據(jù)實(shí)際制造過(guò)程進(jìn)行計(jì)算機(jī)自動(dòng)操作控制（也可以中斷手動(dòng)操作）

通過(guò)預(yù)先輸入過(guò)程詳細(xì)信息，將以確定的值自動(dòng)執(zhí)行目的地，移動(dòng)速度，旋轉(zhuǎn)狀態(tài)和旋轉(zhuǎn)速度。

LPE薄膜晶體制造設(shè)備規(guī)格
加熱器容量	單相200V 2.3kW x 3個(gè)區(qū)域
加熱室尺寸 　直徑x高度mm	φ280×H650毫米
常溫	800℃?900℃
z高溫度	1000℃
溫度分布	±2℃（空氣爐穩(wěn)定在850℃時(shí)，φ100×H200mm的空間）
溫度波動(dòng)范圍	±0.2℃（空氣爐穩(wěn)定在850℃時(shí)，φ100×H200mm的空間）
加熱元件	SSS加熱器
芯管	φ220×φ205×L800mm

 

LPE熔爐驅(qū)動(dòng)單元（樣品軸）規(guī)格
提升速度	20-300毫米/分鐘
停止精度	±1mm以內(nèi)
旋轉(zhuǎn)方式	前進(jìn)/后退
轉(zhuǎn)速	20-300 rpm（帶軟啟動(dòng)）
轉(zhuǎn)速波動(dòng)精度	在±1％FS之內(nèi)