LBIC光束誘導電流成像系統(tǒng)采用振鏡掃描技術，對樣品表面做快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號通過探針引到源表，再顯示在軟件界面，用三維圖顯示樣品表面在同一個光強下電流分布，以此推算樣品的光電轉(zhuǎn)換均勻性和材料的缺陷分布。

光束誘導電流成像系統(tǒng)是用于檢測材料光電流強度分布的專用設備，主要用來測量光電材料的光電響應信號和表征材料的光電特征。光束誘導電流成像系統(tǒng)將光電材料對于光信號響應的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來。該系統(tǒng)可以研究光電探測器的量子效率，器件的電阻分布特征，研究太陽能電池光生電流的不均勻性，研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性， 以及光電材料界面，半導體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。

整個系統(tǒng)的結(jié)構包含光源（激光器或者連續(xù)光源），顯微鏡，掃描振鏡，數(shù)字源表，探針臺和計算機軟件等。激光通過掃描透鏡，掃描振鏡，成像透鏡，經(jīng)過顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流，光電流信號通過探針引出至源表， 再通過電腦在軟件中讀出，掃描時振鏡是通過電壓控制器控制光束的偏轉(zhuǎn)角度，激光的光斑在樣品的XY 方向上掃描移動， 軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應的電流值，在軟件上同步描繪出光電流成像圖，顯示樣品的電流分布。
 

 LBIC光束誘導電流成像測試系統(tǒng)產(chǎn)品特點

• 多路激光波長可選
• 樣品位置二維可調(diào)，實現(xiàn)快速換樣
• 整體探針位置二維可以移動，方便測試樣品的不同位置
• 樣品在靜止情況下實現(xiàn)mapping掃描，消除電移臺的震動的影響
• 可視化和人性化軟件（測試區(qū)間位置通過框圖的方式選取，實現(xiàn)了可視范圍即掃描范圍）

 應用領域

• 納米材料
• 二維材料
• 晶圓分析
• 探測器光電性能檢測
• 面陣探測器pixel檢測
• 器件電荷生成的微區(qū)特性
• ……

LBIC光束誘導電流成像測試系統(tǒng)基本參數(shù)
 

探針臺模塊

軟件測試樣品圖示