電子工業(yè)用超純水概述
半導體、電子行業(yè)是目前世界上要求zui高標準的超純水用戶。超出水制造技術的發(fā)展*地推動了半導體和電子工業(yè)的技術進度。同時半導體、電子工業(yè)的迅速發(fā)展促進了超純水制造技術裝備的發(fā)展。
目前的制水工藝:
(RO)反滲透 + (EDI)電去離子工藝
(RO)反滲透 + 混床工藝
產水符合電子工業(yè)用水 (水質符合美國ASTM標準,電子部超純水水質標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,12MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)。
電子超純水設備應用范圍
半導體工業(yè)用超純水、彩色顯像管用高純水、集成電路、精細化工、實驗室。
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。

制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程
電子工業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下3種:
(1)采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
(2)采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業(yè)超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
(3)采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式,這是一種制取超純水的工藝,也是一種環(huán)保,經濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

電子超純水設備流程圖
電子工業(yè)超純水設備特點
電子工業(yè)超純水設備通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用*和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
電子工業(yè)用超純水的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水。
3、實驗室和中試車間用超純水。
4、汽車、家電表面拋光處理。
5、光電子產品。
6、其他高科技精微產品。
:奚剛
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