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氣體質量流量控制器 型號:KM12-CS50 庫號:M390287

閱讀:406發(fā)布時間:2021-11-29

安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數字信號轉換器( AD/DA轉換器)配合計算機使用。

流量規(guī)格(N2標定)

0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM

注:滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內任選,例如123SCCM。

輸入輸出信號

0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)

流量規(guī)格:0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM
調節(jié)閥類型:常閉型
量程比:2-100FS或者50:1
流量分辨率:0.1%FS
準確度:1%FS 小于15SLM
        2%FS 大于15SLM
線性:0.5%FS 小于15SLM
      2%FS 大于15SLM
重復精度:0.2%FS
相應時間:小于2S
工作壓差范圍:0.1-0.5MPA 小于10SLM
             0.1-0.3MPA 大于10SLM
大耐壓:3MPA
工作環(huán)境:5-45度
電纜接頭:DB15pin(針形)
輸入輸出信號:0-5V(輸入抗阻大于100K歐 輸出電流不大于3MA)
供電電源要求:+15VDC 80MA  -15VDC  2000MA


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