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（LQS）兩路質(zhì)量供混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821
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更新時間：2017-08-29 09:19:41瀏覽次數(shù)：1176
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(LQS）兩路質(zhì)量供混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821 (LQS）兩路質(zhì)量供混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821 (LQS）兩路質(zhì)量供混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821
2路質(zhì)子混氣系統(tǒng)/質(zhì)量流量控制器/兩路質(zhì)量供混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z
庫號：M403821 查看hh
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用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架上，管式爐可以放在它的上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥。結(jié)合微行爐業(yè)的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
質(zhì)量流量控制器
工作電壓：220V
大輸出功率：18W
控制范圍：
控制器1：1-199 SCCM
控制器2：1-499 SCCM
工作溫度：5-45 oC
大壓力：3x 10^6 Pa
準(zhǔn)確度：±1%FS
機械壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
型閥：304不銹鋼
混氣罐：Φ80*120MM
截止閥：Φ1/4 304不銹鋼
外形尺寸：600*600*650MM
集團(tuán)
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