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德國(guó)SENTECH公司 PECVD 氣相沉積系統(tǒng)---上海/蘇州/北京/廣州

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更新時(shí)間：2018-04-14 20:56:45瀏覽次數(shù)：1111次

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氣體腐蝕試驗(yàn)設(shè)

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蘇州諾威特測(cè)控科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

儀器廣泛應(yīng)用于微電子、光電、納米技術(shù)、LED、平板顯示、材料、有機(jī)電子、光伏、玻璃鍍膜、生物學(xué)、生命科學(xué)、等研發(fā)領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹

德國(guó)SENTECH公司 PECVD 氣相沉積系統(tǒng)---上海/蘇州/無(wú)錫/南京/天津/北京/武漢/西安/杭州/濟(jì)南/廣州

SENTECH儀器（德國(guó)）有限公司研發(fā)、制造和銷售*的薄膜測(cè)量?jī)x器（光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀）、光伏測(cè)量?jī)x器（在線和離線測(cè)量工具）和等離子工藝設(shè)備（等離子刻蝕機(jī)、等離子沉積系統(tǒng)、原子層沉積系統(tǒng)、用戶定制多腔系統(tǒng)）。

NOVTEC寓意“科技創(chuàng)新"，即諾威特測(cè)控科技有限公司，在德國(guó)、日本設(shè)有代表處，多年來(lái)致力于將世界的高科技產(chǎn)品帶給中國(guó)及亞洲的廣大用戶，并為客戶提供完善的售后服務(wù)，協(xié)助他們提高生產(chǎn)技術(shù)水平、競(jìng)爭(zhēng)力及增加盈利，專業(yè)從事工業(yè)測(cè)量與測(cè)試產(chǎn)品的銷售與研發(fā)，擁有產(chǎn)品研發(fā)中心、研究院和生產(chǎn)工廠，技術(shù)力量雄厚。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SI500D突出優(yōu)點(diǎn)是采用平板三螺旋天線PTSA電感耦合等離子體ICP源和背部有氧氣冷卻系統(tǒng)的下電極，zui大樣片直徑8吋。ICPECVD感應(yīng)耦合等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)SI500D滿足工藝要求，適用于器材的生產(chǎn)和研發(fā)應(yīng)用。SI500D在基于硅烷的沉積工藝中具有出色的性能。

SI500PPD是標(biāo)準(zhǔn)的PECVD系統(tǒng)，配置帶干泵的預(yù)真空室，真空反應(yīng)腔配置羅茨泵和渦輪分子泵。
Depolad200是經(jīng)濟(jì)型的PECVD系統(tǒng)，具有模塊化設(shè)計(jì)、工藝靈活和操作簡(jiǎn)便的特點(diǎn)，樣片直接放置?？讨鸩竭M(jìn)行真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)的升級(jí)，以滿足更高的工藝要求。

型號(hào)

SI500D	ICPECVD沉積系統(tǒng)	室溫~350℃
SI500PPD	PECVD沉積系統(tǒng)	帶預(yù)真空室	200℃~350℃
Depolab200	PECVD沉積系統(tǒng)	不帶預(yù)真空室	200℃~400℃