上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司
詳細(xì)摘要： 設(shè)計功能高溫燃燒VOCs，裂解為CO2和H2O，達標(biāo)排放
產(chǎn)品型號：所在地：更新時間：2022-03-17 在線留言
詳細(xì)摘要： 設(shè)計功能前置處理CVD/ETCH/IMP/DIEF/EPI等工藝機臺在制程中排出的劇毒、易燃易爆及溫室氣體等有害氣體
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詳細(xì)摘要： 設(shè)計功能持續(xù)吸附、高效濃縮大風(fēng)量低濃度VOCs，轉(zhuǎn)化成小風(fēng)量高濃度廢氣，以降低后序熱力氧化等工藝段處理裝置的規(guī)格，節(jié)約VOCs治理系統(tǒng)整體投資與運行成本
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詳細(xì)摘要： 設(shè)計功能吸附濃縮IC、光電產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)過程中，黃光區(qū)內(nèi)光阻涂布等制程工藝揮發(fā)的有機物，并輸送至后序有機排氣系統(tǒng)集中處理
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詳細(xì)摘要： 設(shè)計功能高溫燃燒VOCs，裂解為CO2和H2O，實現(xiàn)達標(biāo)排放
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詳細(xì)摘要： 設(shè)計功能集成預(yù)過濾、沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮與催化氧化系統(tǒng)，一站式實現(xiàn)快速安裝運行，VOCs達標(biāo)排放
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