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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司


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小型、臺式、板式電容PECVD

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

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更新時(shí)間:2017-04-19 23:44:56瀏覽次數(shù):570次

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產(chǎn)品簡介

PECVD原理:
化學(xué)氣象沉積(chemical vapor deposition,簡稱CVD)是在一定的溫度條件下,混合氣體之間與基材表面相互作用
等離子化學(xué)氣象沉積(plasma enhanced chemical vapor deposition,簡稱PECVD)也叫做等離子體輔助化學(xué)氣象沉積(簡稱PACVD)則是依靠等離子體中得電子的動能去激活氣象得化學(xué)反應(yīng)

詳細(xì)介紹

一、PECVD原理:  化學(xué)氣象沉積(chemical vapor deposition,簡稱CVD)是在一定的溫度條件下,混合氣體之間與基材表面相互作用,并且進(jìn)一步在基材表面形成金屬膜或者化合物薄膜,使材料表面改性,以達(dá)到耐磨,抗氧化、抗腐蝕性等性能,在電子,光學(xué),摩擦力學(xué),機(jī)械應(yīng)用方面有很多應(yīng)用。 等離子化學(xué)氣象沉積(plasma enhanced chemical vapor deposition,簡稱PECVD)也叫做等離子體輔助化學(xué)氣象沉積(簡稱PACVD)則是依靠等離子體中得電子的動能去激活氣象得化學(xué)反應(yīng),由于等離子體是離子、電子、中性原子和分子的集合體,因此大量的能量存在于等離子的內(nèi)能之中。PECVD是冷等離子體,是通過低壓氣體放電而形成的,一般是在幾帕到幾百帕的低氣壓下,通過射頻、中頻等放電所產(chǎn)生。 二、PECVD的特點(diǎn):   與常規(guī)的熱CVD比較,PECVD具有更多的優(yōu)點(diǎn)     1、沉積溫度低:熱CVD的溫度一般高于600度,其應(yīng)用范圍非常有限,大部分只能用于實(shí)驗(yàn)功能,PECVD的沉積溫度可以降到200度以內(nèi),這是由于其內(nèi)能,也就是電子所具備的高能量所提供的。此優(yōu)點(diǎn)決定了其可以廣泛的應(yīng)用于各種金屬、半導(dǎo)體、電子等領(lǐng)域。     2、沉積速率及均勻性得到提高:PECVD在輝光放電中所用的壓力比較低,反應(yīng)物中分子、原子等離子粒團(tuán)與電子之間的碰撞、散射、電離等作用增強(qiáng),膜層厚度的均勻性得到改善,針孔減少,組織致密,內(nèi)應(yīng)力少,不易產(chǎn)生微裂紋。     3、可以獲得性能*的膜層:PECVD的輝光放電處于非平衡狀態(tài),及能量耗散狀態(tài),其沉積產(chǎn)物呈多樣性,可以獲得熱分解所不能得到的物質(zhì),典型的,熱分解甲烷得到石墨薄膜,PECVD則可以得到金剛石薄膜。  三、公司設(shè)備特點(diǎn)1、設(shè)備整體尺寸:550mm*550mm*1200mm(寬*深*高)2、真空室尺寸:直徑70*高度110mm3、平行板電極尺寸:直徑60mm4、電極調(diào)節(jié):可調(diào)節(jié)5、真空系統(tǒng):機(jī)械泵6、極限真空度:1*10-3mabr。7、濺射電源:射頻電源5KW8、工藝匹配:手動匹配9、氣體控制:質(zhì)量流量控制器 2路10、真空檢測:電阻真空計(jì)11、加熱系統(tǒng):熱電阻加熱 1.2KW12、控制方式:手動控制系統(tǒng)  四、PECVD設(shè)備的應(yīng)用1、沉積DLC膜層:用與機(jī)械、電子、醫(yī)療等領(lǐng)域2、沉積氮化硅:半導(dǎo)體行業(yè)、微電子行業(yè)3、沉積TIN膜層:以及TIC等硬質(zhì)膜層,比離子鍍更光亮,更美觀4、*管:CNTs是PECVD技術(shù)的一個(gè)新的應(yīng)用5、太陽能薄膜電池:非晶硅太陽能電池的制備


歡迎來到北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司, 具體地址是北京市密云縣西田各莊鎮(zhèn)雁密路99號601室-819,老板是楊利佳。 是,手機(jī)是,主要經(jīng)營北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司,原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司,創(chuàng)立于2013年,位于中國·首都北京密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),主體經(jīng)營分為真空配件銷售、真空設(shè)備定制、淺藍(lán)納米科技三個(gè)部分,是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司,公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師,具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。。 單位注冊資金單位注冊資金人民幣 300 萬元以下。 作為一家從事教育裝備多年的企業(yè),主營維意真空,ALD,原子層沉積鍍膜設(shè)備,PE-CVD,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè),源瓶等產(chǎn)品,不論是什么樣的客戶我們都會以真誠的態(tài)度,優(yōu)惠的價(jià)格,可靠地品質(zhì)及熱忱的服務(wù)來面對您。而且大量的庫存以及合作的物流公司,確保您的貨物能準(zhǔn)確安全的到達(dá)您的手中。一切為成為您可靠的伙伴而努力!

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