掃描電鏡(SEM)通過電子束掃描被檢測物品的表面進而產(chǎn)生被檢測物品表面的圖像。掃描電鏡檢測應用范圍涉及到各行各業(yè)，其中包括生命科學、材料科學、食品科學、化學、電子學等學科，還運用到了陶瓷行業(yè)、化工行業(yè)、半導體行業(yè)等生產(chǎn)部門。

掃描電鏡檢測目的及技術要求

掃描電鏡檢測目的

1.?觀察物體表面的微觀形貌?：

掃描電鏡能夠提供物體表面的高分辨率圖像，揭示表面的紋理、顆粒大小、形狀等微觀特征。這對于研究材料的表面結(jié)構、評估材料性能、優(yōu)化制備工藝以及探索新材料應用具有重要意義?。

2.?分析物質(zhì)成分?：

通過配合能譜儀等設備，掃描電鏡可以檢測樣品發(fā)出的特征X射線，從而確定樣品中所含元素的種類和含量。這種方法在地質(zhì)學、考古學等領域有著廣泛的應用，幫助研究人員鑒定巖石、礦物成分以及古代文物的年代和制作工藝?。

3.?研究材料的結(jié)晶結(jié)構和性能?：

結(jié)合電子背散射衍射(EBSD)技術，掃描電鏡可以測量材料的晶體取向和晶粒結(jié)構，這對于研究材料的機械性能和物理性能具有重要意義。此外，通過測量二次電子、反射電子和背散射電子等信號，掃描電鏡還可以分析樣品的電學和磁學性能?。

掃描電鏡檢測技術要求

(1)?樣品制備?：

樣品制備是掃描電鏡檢測的第一步，其質(zhì)量直接影響檢測結(jié)果的準確性和分辨率。樣品表面應平整光滑，無氣泡、灰塵等干擾物，并且需要涂上一層導電膜以避免表面電荷干擾成像?。不同類型樣品的制備方法也有所不同：

?粉末樣品?：直接粘到導電膠上即可?。

?液體樣品?：通常滴到硅片或鋁箔上，溶劑和溶液不能反應，溶液需能干燥，不易干燥的需說明干燥條件并選擇合適的基底?。

?塊體/薄膜樣品?：標明測試面，若需測試截面需自備或提前說明制備方法?。

(2)?真空度?：

掃描電鏡需要在高真空環(huán)境下工作，真空度一般在10^-3到10^-6Pa之間。真空度的維護對成像質(zhì)量有重要影響，需要定期檢測和維護?。

(3)?加熱溫度?：

樣品在掃描電鏡中的溫度通常需要在200℃以上，以保證樣品表面導電性能。但過高的溫度可能對樣品造成損傷，需要根據(jù)實際樣品情況調(diào)整?。

(4)?探針電流?：

探針電流的大小影響成像質(zhì)量。探針電流越大，信噪比越高，但也可能在樣品表面形成過多電荷，影響成像。因此，需要根據(jù)實際情況選擇適當?shù)奶结橂娏髦?。

(5)?加速電壓?：

加速電壓對圖像分辨率有重要影響。高加速電壓可以提高圖像分辨率，但可能對樣品表面造成損傷;低加速電壓則更適合不導電或熱穩(wěn)定性較差的樣品?。

(6)?工作距離?：

工作距離是物鏡下極靴到樣品表面的距離，影響分辨率和景深。工作距離增大時，束斑變大，分辨率下降，但孔徑角減小，景深增加?。

(7)?特殊樣品處理?：

對于特殊樣品如磁性材料、不導電樣品等，需要進行特殊處理。例如，不導電的樣品需要鍍金或鍍膜以增加導電性;磁性材料需要退磁處理以消除磁疇影響?。

掃描電鏡檢測目的及技術要求