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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市中圖儀器股份有限公司


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SuperViewWX100白光干涉測(cè)頭

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:何漢英/羅健查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2021-11-10 16:19:26瀏覽次數(shù):188次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠(chǎng)家

商鋪產(chǎn)品:98條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:何漢英/羅健 (市場(chǎng)推廣)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperViewWX100白光干涉測(cè)頭

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

  SuperView WX 100白光干涉測(cè)頭是一款非接觸式精密光學(xué)測(cè)頭,其基于白光干涉和精密掃描研制而成,主要由光學(xué)干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成,具有體積小、重量輕、便攜的特點(diǎn),能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構(gòu)的平臺(tái)上,在產(chǎn)線(xiàn)上對(duì)器件表面進(jìn)行自動(dòng)化形式的測(cè)量,直接獲取與表面質(zhì)量相關(guān)的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數(shù)。

圖1.WX-100白光干涉測(cè)頭

二、產(chǎn)品功能

1、測(cè)量功能:能夠?qū)崿F(xiàn)樣件表面的高精密Z向掃描,獲取3D圖像;

2、分析功能:能夠獲取關(guān)于表面質(zhì)量的粗糙度、微納級(jí)別的輪廓尺寸等2D、3D數(shù)據(jù);

3、編程功能:支持預(yù)配置數(shù)據(jù)處理和分析工具步驟,一鍵完成測(cè)量到分析全過(guò)程;

4、批量分析:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,針對(duì)同類(lèi)型參數(shù)數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析;

三、應(yīng)用領(lǐng)域

  對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用范例:

半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、金屬殼模具瑕疵、玻璃屏高度差

四、性能特色

1、便攜可搭載 *懸臂式結(jié)構(gòu),可方便地搭載在各類(lèi)龍門(mén)架構(gòu)水平位移平臺(tái)上,通過(guò)軟件接口的連接,即可構(gòu)成一臺(tái)可自動(dòng)測(cè)量的超高級(jí)精度的光學(xué)3D表面輪廓儀;

2、復(fù)合型掃描算法 結(jié)合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移掃描重建算法,能夠適配 從超光滑到粗糙、光滑弧面等所有類(lèi)型樣品,一鍵掃描,無(wú)須切換算法;

3、防撞保護(hù)功能 Z向防撞傳感器,當(dāng)鏡頭碰到樣件表面,進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),不再下移;  

 

 

懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。

關(guān)鍵詞:輪廓儀 傳感器
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