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上海添時科學(xué)儀器有限公司


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滑動式雙溫區(qū),PECVD

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

聯(lián)系方式:徐鰲查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù):185次

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經(jīng)營模式:

商鋪產(chǎn)品:1313條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:徐鰲 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,80mm 0D1800mm L的滑動式雙溫區(qū)管式爐,4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組,可用于生長納米或石墨烯材料。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點:

射頻電源可實現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實驗溫度;

滑軌式可快速加熱和快速冷卻;

兩個加熱區(qū),溫度梯度可達(dá) 200°c;

可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數(shù):

溫度:1200°C<30min),連續(xù)工作溫度:1100℃

兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng);

輸入功率:208-240V,單相,功率:3KW;

高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗;

爐體開啟式設(shè)計,以達(dá)到對樣品快速降溫,方便更換爐管。

射頻電源:

 

image.png 

真空系統(tǒng):

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達(dá)10-2Torr。

供氣系統(tǒng)(可選):

客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

流量范圍:

image.png 

電壓:208-240VAC, 50/60Hz

氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出;

• PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量:

設(shè)備總體尺寸:2200mmL 800mmW 1500mmH

凈重:610kg

注意:

采用氬氣高于射頻功率200W情況下,需特殊說明:設(shè)備需要特殊改造幾測試,(有法蘭過熱情況)

質(zhì)保:

一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件

因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)



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