產(chǎn)品描述::
北京華旭世紀(jì)HXMF05系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,采用了數(shù)字式技術(shù),相比模擬技術(shù),HXMF05系列產(chǎn)品提高了精度和數(shù)字化程度。它采用了毛細(xì)管熱傳感技術(shù)和熱溫差原理,來(lái)測(cè)量和控制氣體的質(zhì)量流量。由于熱溫差只和氣體的質(zhì)量流量有關(guān),因此其測(cè)量值不受氣體的溫度和壓力變化的影響。
HXMF05系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,采用了緊湊型設(shè)計(jì),體積小巧精致,產(chǎn)品堅(jiān)固耐用。產(chǎn)品使用了線(xiàn)性化校正電路和EMI保護(hù),具備安全可靠、性能穩(wěn)定、低功耗、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。
HXMF05系列,在數(shù)據(jù)傳輸上,不但具備傳統(tǒng)的有線(xiàn)式,還具備局域網(wǎng)無(wú)線(xiàn)傳輸數(shù)據(jù),互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺(tái)等強(qiáng)大功能。
產(chǎn)品特色::
● 數(shù)字化技術(shù),更快速的響應(yīng)時(shí)間
● 優(yōu)于1%FS的高精度
● 出色的*穩(wěn)定性
● 可測(cè)量腐蝕性氣體,堅(jiān)固耐用
● 精巧的外觀設(shè)計(jì),全面的安全保護(hù)電路及EMI
● 可配顯示表,顯示瞬時(shí)流量
● 諸多選項(xiàng):高精度、自定義量程、流量信號(hào)無(wú)線(xiàn)傳輸
遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺(tái)、短信報(bào)警、郵件報(bào)警等
典型應(yīng)用::
· 光伏及晶體制備 · 真空行業(yè)及鍍膜 · 泄漏檢測(cè)
· 爐窯及微反應(yīng)裝置 · 半導(dǎo)體行業(yè) · 大學(xué)/研究所
· 分析儀器 · 氣體混合配比 · 計(jì)量及計(jì)價(jià)
· 燃料電池 · 燃燒測(cè)試 · 其它氣體測(cè)控場(chǎng)合
性能指標(biāo)::
介質(zhì)要求:與介質(zhì)兼容的氣體,支持腐蝕性氣體
介質(zhì)種類(lèi):客戶(hù),也可現(xiàn)場(chǎng)更改-需咨詢(xún)我們
標(biāo)定工況:0℃ @ 1 atm(氮?dú)猓?/p>
測(cè)控量程:從0~5sccm到0~250slm任選,可定制更高流量范圍
量程比:50:1
精度:±0.35%F.S.或±1.0%RD,取數(shù)值大者(FS-滿(mǎn)量程 RD-讀數(shù))
重復(fù)性:±0.2%F.S.
流量分辨率:0.1%F.S.
響應(yīng)時(shí)間:1.5S
閥門(mén)狀態(tài):常閉(僅控制器,流量計(jì)無(wú)閥門(mén))
工作溫度:5~45℃
工作濕度:0~*RH(無(wú)冷凝)
工作壓差范圍:流量計(jì) 0.02MPa~3MPa
控制器 0.1~0.5MPa(>10SLM為0.1~0.3MPa)
zui大耐壓:3MPa,可選高壓選項(xiàng)10MPa
輸入輸出信號(hào):標(biāo)準(zhǔn)為RS485,可選0~5V
通訊協(xié)議:Modbus
供電電壓:24VDC@250mA
電氣接口:DB15pin,2XRJ45
泄漏率:≤1×10-10次方Pa·立方米 /S(He)
接液材質(zhì):316L SS
密封材料:根據(jù)氣體種類(lèi)由廠家選擇或客戶(hù),包括:PTF、氟橡膠FKM、全氟橡膠FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等
管道接頭:1/4〃VCR,1/8、1/4、3/8雙卡套,3、6、8、10mm雙卡套
外形尺寸:長(zhǎng)×寬×高:127×30×128.5mm
產(chǎn)品重量:流量計(jì)0.75kg
控制器0.9kg