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常州藍(lán)陽(yáng)環(huán)保設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 活性炭再生設(shè)備,活性炭吸附催化燃燒,活性炭脫附催化燃燒 |
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更新時(shí)間：2022-04-15 16:49:50瀏覽次數(shù)：547
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在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線制程工藝中，會(huì)產(chǎn)生大量的酸堿及VOCs有機(jī)污染物等有毒有害氣體。如果直接排放就會(huì)對(duì)大氣和人的身體健康造成較為嚴(yán)重的危害。
半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線廢氣介紹
廢氣成分：半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線廢氣主要包括酸堿廢氣和有機(jī)廢氣兩類。酸/堿廢氣包括：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。有機(jī)廢氣包括：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；
廢氣來(lái)源：在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線造成環(huán)境污染的有害氣體，主要來(lái)源于芯片生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過(guò)程中。
廢氣特點(diǎn)：半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線廢氣具有排氣量大、濃度小的特點(diǎn)。
主要危害：半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線對(duì)大氣的污染，主要是器件清洗等表面處理過(guò)程中因使用一些化學(xué)藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物）揮發(fā)造成對(duì)大氣環(huán)境的污染，以及整機(jī)裝配過(guò)程中產(chǎn)生的機(jī)械噪聲和少量粉塵也會(huì)造成環(huán)境污染，這些污染氣體會(huì)造成人群慢性或急性中毒。
半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線廢氣處理設(shè)備工藝
半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線廢氣處理，按照其廢氣處理工藝分為：酸性廢氣處理、堿性廢氣處理、有機(jī)廢氣處理等。
1、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線廢氣處理設(shè)備酸堿性廢氣處理工藝工作原理：
（1）立式廢氣洗滌塔工作原理為氣液兩相逆流接觸；含酸性或堿性廢氣由塔下部進(jìn)口進(jìn)入塔內(nèi)向上運(yùn)動(dòng)，通過(guò)單層或多層填料，廢（尾）氣與液相充分接觸后吸收或中和，干凈的氣體經(jīng)過(guò)上層的除霧層排出，從而達(dá)到吸收和凈化效果；
（2）臥式廢氣洗滌塔的工作原理為氣液兩相交叉流接觸，酸堿廢（尾）氣通過(guò)填料層段時(shí)與液相充分接觸后吸收或中和，從而達(dá)到吸收或凈化的效果。
主要設(shè)備：
（1）洗滌塔設(shè)備樣式：洗滌塔的結(jié)構(gòu)型式分為立式和臥式。
（2）洗滌塔設(shè)備組成：包括塔體、填料層、除霧層、循環(huán)水管路及循環(huán)水箱等。
（3）洗滌塔設(shè)備材料：廢氣處理設(shè)備以PP為主要材料生產(chǎn)，填料采用PP材質(zhì)的鮑爾環(huán)。
工藝流程：
酸/堿性廢氣收集→酸/堿式洗滌塔→離心風(fēng)機(jī)→煙囪（達(dá)標(biāo)排放）
酸堿廢氣經(jīng)過(guò)收集管道集中收集后按照各自的系統(tǒng)進(jìn)入相應(yīng)的化學(xué)洗滌塔進(jìn)行噴淋處理，化學(xué)洗滌塔通過(guò)內(nèi)部的噴淋系統(tǒng)、循環(huán)水系統(tǒng)、填料過(guò)濾系統(tǒng)、除霧系統(tǒng)、自動(dòng)加藥系統(tǒng)、自動(dòng)補(bǔ)排水等系統(tǒng)對(duì)進(jìn)入化學(xué)洗滌塔的廢氣進(jìn)行化學(xué)吸收、除霧，經(jīng)過(guò)處理后的廢氣達(dá)標(biāo)排放。
