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雙電組合四探針測(cè)試儀

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雙電組合四探針測(cè)試儀

詳細(xì)介紹

雙電組合四探針測(cè)試儀

一. 雙電組合四探針?lè)ㄔ?

1.通過(guò)采用四探針雙位組合測(cè)量技術(shù)，將范德堡測(cè)量方法應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，其最后計(jì)算結(jié)果能自動(dòng)消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的，對(duì)測(cè)量結(jié)果的不利影響。

2.在測(cè)試過(guò)程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。

3.自動(dòng)修正，降低了其對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。

二. 雙電組合四探針?lè)▋?yōu)點(diǎn):

1.常規(guī)四探針測(cè)量方法解決不了,幾何邊界條件和探針間距的自動(dòng)修正.

2.應(yīng)用于各類(lèi)形狀的簿膜及片狀半導(dǎo)體材料。