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詳細(xì)摘要： 真空截止閥開關(guān)氣路，當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開時(shí)，機(jī)械真空泵Ⅲ對(duì)容器I抽真空，氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路；當(dāng)閥2關(guān)閉，閥4打開時(shí)，機(jī)械泵可單獨(dú)對(duì)擴(kuò)散泵抽真空；當(dāng)閥1...