◆通用性
Model 2010/M 數(shù)據(jù)分析軟件是通用的，幾乎可以測量任何薄膜，而無需了解薄膜或基材的光學特性。
◆折射率精度、分辨率和穩(wěn)定性
棱鏡耦合技術(shù)為薄膜測量提供比任何其他薄膜測量技術(shù)更高的折射率精度和分辨率。此外，由于折射率測量僅對棱鏡的耦合角和折射率敏感（不隨時間變化），因此棱鏡耦合測量隨時間推移非常穩(wěn)定，無需定期校準 2010/M。
◆對折射率隨波長變化引起的誤差不敏感
每張薄膜的折射率隨波長變化。在依賴分光光度法（干涉與波長）的技術(shù)中，如果不能準確了解整個波長范圍內(nèi)薄膜的折射率變化，將會導致很大的誤差。此外，許多薄膜的折射率與波長曲線高度依賴于薄膜沉積條件。對于此類膠片，Model 2010/M 的單色測量具有明顯的優(yōu)勢。如果確定各種波長的折射率，則 2010/M 型可以配置多達五個激光器，并且可以在不到五秒的時間內(nèi)從單個折射率測量中生成連續(xù)的折射率與波長曲線。
◆相對于橢圓儀的優(yōu)勢
由于橢圓儀數(shù)據(jù)隨薄膜厚度呈周期性變化，單波長橢圓光度法需要預先了解薄膜厚度，精度為 ±75 至 ±125 nm，具體取決于薄膜指數(shù)。直接進行厚度測量的 Model 2010/M 不需要事先了解薄膜厚度。此外，在某些周期性厚度范圍內(nèi)，使用單波長橢圓光度法進行折射率測量是不可能的。使用 2010/M，一旦薄膜厚度超過某個min閾值（通常為 300-500 nm，取決于薄膜/基材類型），就可以獲得全精度指數(shù)測量值。多波長橢圓偏振儀為準確的薄膜測量提供了可能性，但數(shù)據(jù)分析非常復雜，通常只有在對樣品的光學參數(shù)有廣泛的了解的情況下才能獲得好的結(jié)果。
◆材料色散的簡單“光譜”測量
2010/M 型測量離散激光波長的指數(shù)，通常配備 1-5 個激光器。對于具有三個激光器的系統(tǒng)，Metricon 開發(fā)了專有軟件，使用新穎的擬合技術(shù)計算（在短短幾秒鐘內(nèi)）在擴展波長范圍（例如 400-700 nm 或 633-1550 nm）內(nèi)極其準確的折射率與波長曲線。四個或五個激光系統(tǒng)分別在 400-1064 和 400-1550 nm 范圍內(nèi)提供準確的色散曲線。在大多數(shù)情況下，在中間波長下計算的指數(shù)值提供的準確度實際上與用激光在該波長下測量的指數(shù)相同。
◆透明基材的測量
2010/M 型可用于測量透明基材上的薄膜，即使薄膜和基材之間的折射率匹配相對接近。此外，棱鏡耦合技術(shù)對來自基板背面的反射不敏感，而這對于橢圓偏光法和其他薄膜測量技術(shù)來說通常很麻煩。
◆內(nèi)部自洽性檢查
如果膜厚超過 500-750 nm，則對膜厚和指數(shù)進行多次獨立估計，并顯示這些多次估計的標準差。只要測量標準偏差很低（厚度通常為 0.3%，折射率通常為 0.01%），就不太可能出現(xiàn)明顯的誤差。沒有其他技術(shù)可以對每個測量的有效性提供類似的“置信度檢查”。
◆更輕松、更準確地測量散裝材料的折射率
2010/M 可以在 x、y 和 z 方向測量從 1.0 到 3.35 的折射率，并且測量是全自動的，并且沒有傳統(tǒng)折光儀常見的操作員主觀性。2010/M 不需要使用臟亂、有毒或腐蝕性的匹配液，可以處理光學平整度或拋光度相對較差的樣品（甚至可以測量輕微倒圓的鑄造“斑點”）。
