當(dāng)前位置：天津瑞利光電科技有限公司>>光學(xué)檢測設(shè)備>>表面檢測設(shè)備>>ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200

ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SIT-200

品牌

廠商性質(zhì)0

所在地

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：瑞麗查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-05-13 08:29:17瀏覽次數(shù)：191次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  光學(xué)檢測設(shè)備

位敏探測儀

反射率測量設(shè)備

輪廓儀

膜厚儀/橢偏儀

紅外檢測設(shè)備

表面檢測設(shè)備

光學(xué)檢測儀器

干涉儀

激光測量設(shè)備

圖像傳感器

光電探測器

光纖傳感器

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

天津瑞利光電科技有限公司

經(jīng)營模式：

商鋪產(chǎn)品：1081條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：瑞麗（經(jīng)理）

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器高動態(tài)范圍，能夠測量混亂的表面能夠在濕蝕刻過程中進(jìn)行原位測量SIT-200使用高速掃頻可調(diào)激光器（而不是寬帶光源）來探測被測晶片

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器

高動態(tài)范圍，能夠測量混亂的表面

能夠在濕蝕刻過程中進(jìn)行原位測量

SIT-200使用高速掃頻可調(diào)激光器（而不是寬帶光源）來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進(jìn)行更高功率的測量，從而實現(xiàn)高動態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上，例如在濕蝕刻期間/之后，也可以進(jìn)行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由精確調(diào)諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。波長掃描光聚焦在目標(biāo)上，并且在通過傳感器后，PD會檢測到從目標(biāo)表面反射回來的干涉圖樣。

產(chǎn)品參數(shù)

測量對象：硅片

可測厚度：10~500（n = 3.5）μm

光源：波長掃描激光源

（1515~1585）nm

光輸出功率：0.6，激光等級1 mW

引導(dǎo)光源：紅色LD，激光等級1M

測量時間：min.20 ms

重復(fù)性：小于0.1（3σ）μm

監(jiān)控輸出：干擾信號（電氣）

PC接口：以太網(wǎng)

電源：AC 100-240（50/60 Hz）V