FT-340系列雙電測電四探針方阻電阻率測試儀詳情介紹
FT-340 Series Double electric four-probe resistance ratio tester
適用范圍Widely used：
1.覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試
2.硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等），金屬膜，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜，
3.EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆，導(dǎo)電性糊狀物，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠，導(dǎo)電性薄膜，金屬薄膜，
4.抗靜電材料， EMI 防護(hù)材料，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等，
功能描述Description：
1. 四探針組合雙電測量方法
2. 液晶顯示，自動測量，自動量程，自動系數(shù)補(bǔ)償.
3. 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.
4. 選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.
5. 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇
參照標(biāo)準(zhǔn)：
1.硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
雙電組合測試方法：
利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
參數(shù)資料 Parameters
| 規(guī)格型號/ model | FT-341 | FT-342 | FT-343 | FT-345 | FT-346 | FT-347 |
| 1.方塊電阻sheet resistance | 10-5～2×105Ω/□ | 10-4～2×105Ω/□ | 10-3～2×105Ω/□ | 10-3～2×104Ω /□ | 10-2～2×105Ω/□ | 10-2～2×104Ω/□ |
| 2.電阻率Resistivity | 10-6～2×106Ω-cm | 10-5～2×106Ω-cm | 10-4～2×106Ω-cm | 10-4～2×105Ω-cm | 10-3～2×106Ω-cm | 10-3～2×106Ω-cm |
| 3.測試電流Test current | 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
| 4.電流精度Current | ±0.1% accuracy | ±0.2% accuracy | ±0.2% accuracy | ±0.3% accuracy | ±0.3% accuracy | ±0.3% accuracy |
| 5.電阻精度Resistance | ≤0.3% accuracy | ≤0.3% accuracy | ≤0.3% accuracy | ≤0.5% accuracy | ≤0.5% accuracy | ≤0.5% accuracy |
| 6.顯示讀數(shù)display | 屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率Large screen LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity |
| 7.測試方式 | test mode雙電測量Double electrical measurement |
| 8.電源Power | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W |
| 9.誤差errors | ≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） |
| 10.選購功能choose to buy | 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻.1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform |
| 11.測試探頭test probe | 探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles. |
工作原理和計(jì)算公式
1.雙電測四探針法測試薄層樣品方阻計(jì)算和測試原理如下：
直線四探針測試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：
當(dāng)電流通過1、4探針，2、3探針測試電壓時(shí)計(jì)算如下：
四探針測試儀工作原理圖
1. 開啟電源，預(yù)熱5分鐘.
2. 裝配好探頭和測試平臺.
3. 設(shè)定所需參數(shù).
4. 測量樣品
5. 導(dǎo)出數(shù)據(jù).
1. 自動量程
2. 雙電組合測試方法
3. 標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器
4. PC軟件運(yùn)行
5. 同時(shí)顯示電阻、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
6. 可顯示5位有效數(shù)字.
7. 中、英文界面
部分客戶案例
濟(jì)南展雄電子有限公司
青島啟東電子設(shè)備有限公司
福建萬龍金剛石工具有限公司
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丹東海浩電子科技有限公司
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出廠檢驗(yàn)報(bào)告樣本
服務(wù)項(xiàng)目
1.質(zhì)保：12個(gè)月，長期維護(hù).
2.培訓(xùn)：操作培訓(xùn)：
電話教學(xué)；U盤教學(xué)文件；遠(yuǎn)程可視溝通；現(xiàn)場教學(xué)；說明書教學(xué)文件
3.保養(yǎng)和維護(hù)：
提供因知保養(yǎng)和維護(hù)文件、標(biāo)識、表格 、保養(yǎng)提醒.
4.驗(yàn)證文件：
3Q驗(yàn)證文件、計(jì)量證書
5.擴(kuò)展服務(wù)：
延保服務(wù)，樣品測試服務(wù)，后延服務(wù)，儀器租賃服務(wù).
FT-340系列雙電測電四探針方阻電阻率測試儀視頻文件鏈接：
/v_show/id_XNDM1NDM2MTYyOA==.html?spm=a2hzp.8253869.0.0
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