高壓泵頭CAT5CP4110CSS泵組技術(shù)參數(shù)分析分子泵工作方法操作方法啟動(dòng)渦輪分子泵(需先接通冷卻系統(tǒng))。如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，則應(yīng)在泵加速到額定轉(zhuǎn)速后(一般需5~10min)加注液氮。粗抽系統(tǒng)的配置隨真空室的容積的大小而有所不同。對(duì)500L/s或更小的渦輪分子泵來說，可采用一臺(tái)雙級(jí)旋片泵；1000L/s以上的渦輪分子泵則采用以機(jī)械泵為前級(jí)泵的羅茨泵機(jī)組。在壓力為100到150Pa時(shí)關(guān)閉粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。

CAT2SF30GES cat泵45G1/700G1

CAT4SF32ELS cat泵2SF35SEEL

CAT2SF35ES cat泵66DX30G1I

CAT2SF35GES cat泵2SF42SEEL

CAT3CP1140  cat泵5CP6251

CAT5CP3110CSS cat泵2SF30GS

CAT5CP2140WCS  cat泵3DX29GSI

CAT4SF40ELS   cat泵5CP6241CS

對(duì)某些泵，這樣做會(huì)引起輕微而滯后的瞬時(shí)減速，但這對(duì)抽氣并無影響。正如擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)那樣，渦輪分子泵系統(tǒng)中的主要的物質(zhì)是水蒸氣，其抽氣時(shí)間將受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱，那么這個(gè)系統(tǒng)抽除水蒸氣的速度就會(huì)比同樣抽速的無冷阱擴(kuò)散泵略慢一些。在高真空抽氣過程的起始階段，泵的很大的未經(jīng)烘烤的內(nèi)表面會(huì)吸附水，然后再在較低的壓力下重新釋放出來。這種效應(yīng)在無閥門的系統(tǒng)中更為明顯，因?yàn)樗赡鼙任幢┞对趬毫Ω哂?50Pa的空氣環(huán)境的有閥門的系統(tǒng)吸附更多的水蒸氣。 高壓泵頭CAT5CP4110CSS泵組技術(shù)參數(shù)分析