質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-11C 質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)(MASS FLOW CONTROLLER)
技術(shù)參數(shù):
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~30SLM |
控制范圍 | 2~100%F.S. |
閥類型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) |
準(zhǔn)確度 | ≤10SLM | ±1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. |
線性 | ≤10SLM | ±0.5~1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤4sec |
工作溫度范圍 | 5~45℃ |
工作壓差 | ≤10SLM | 0.2~0.8MPa |
>10SLM | 0.2~0.6MPa |
耐壓 | 10MPa |
漏氣率 | 1×10-9SCCSHe |
密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 |
接頭選擇 | VCR | 1/4” |
Swagelok | 1/4”、1/8”或φ3、φ6mm |
電插頭形式 | DB15 pin(Male) |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1.2Kg |