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由于半導體相關基礎設施建設周期長、技術要求高,企業(yè)必須制定一套長期戰(zhàn)略。某些領域的一些公司競相開發(fā)先進技術,在半導體行業(yè)市場上展開競爭。為了進一步推動數(shù)字革命,我們需要更強大的計算和存儲能力。換言之,便是更先進的半導體,制造更先進的半導體的基礎就是用更高的水質,因此超純水已經(jīng)成為企業(yè)競爭的制勝法寶。
超純水(UPW)是指電阻率達到18 MΩ·cm(25℃)的水。這種水中除了H2O外,幾乎沒有什么雜質或其他離子。超純水可以分為國標《電子級水》和美標《電子和半導體超純水質標準》。在半導體的生產(chǎn)過程中,幾乎每道工序需要超純水進行清洗,可見超純水在半導體行業(yè)的重要性。
傳統(tǒng)的超純水處理方式為離子交換樹脂,其工藝流程為:
原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床( 復床) →純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
但是傳統(tǒng)工藝缺點是浪費資源、需要酸堿再生,且不環(huán)保。為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量,超純水設備在工藝設計上,取自來水為原水,再設有介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(edi電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等。
超純水設備具有良好的應用價值,可實現(xiàn)自動控制,在一定程度上可以有效地達到我國電子水質標準,與傳統(tǒng)工藝相比,具有自動化程度高,過程易實現(xiàn)自動控制,產(chǎn)水水質穩(wěn)定等優(yōu)勢。
制造半導體需要大量的水,水資源管理對半導體工業(yè)至關重要。因此,隨著人們需求的不斷增長,超純水成為了半導體行業(yè)發(fā)展的重中之重,對我國半導體產(chǎn)業(yè)的長遠發(fā)展也具有重要意義。
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