螺桿式真空泵與螺桿式壓縮機(jī)的工作原理相同。國(guó)內(nèi)外均有市銷產(chǎn)品，特別適用于化工、制藥、航天航空等需要清潔抽氣的環(huán)境。其基本結(jié)構(gòu)有兩種：
　　
　?。?）螺桿式真空泵在螺桿式壓縮機(jī)中，螺旋轉(zhuǎn)子的螺旋圈數(shù)在1圈以上，而螺桿真空泵的螺旋轉(zhuǎn)子的螺旋圈數(shù)在2圈以上。這樣可以減少返流量，提高壓縮比。單級(jí)泵可從泵105Pa的極限壓力，通常抽數(shù)為60-120m3/h.螺桿式真空泵的工作原理如圖2-87所示。
　　
　?。?）矩形螺旋式真空泵，它由矩形段面的右螺旋和左螺旋的一對(duì)轉(zhuǎn)子相嚙合，由同步齒輪帶動(dòng)實(shí)現(xiàn)非接觸式的高速運(yùn)轉(zhuǎn)，氣體有上側(cè)進(jìn)入，在泵腔內(nèi)壓縮，由轉(zhuǎn)子下端排除，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周排氣一次。由于轉(zhuǎn)子和泵體內(nèi)形成一種螺旋密封結(jié)構(gòu)，矩形斷面間隙泄露較少，加上它的螺旋圈數(shù)多，故可以得到比螺桿式泵較高的壓縮比。這種泵可以從105Pa抽到極限壓力10-1Pa,通常抽速為40-80m3/h.。矩形螺旋真空泵原理示意圖如圖2-88所示。
　　
　?。?）目前國(guó)外出現(xiàn)了變螺距的設(shè)計(jì)，提高了效率、降低了排出氣體的溫度。此類型的泵可以從大氣壓下開(kāi)始全速抽吸至壓力為130Pa,而其極限真空可達(dá)1.3Pa，抽數(shù)從120-2700m3/h。