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行業(yè)產(chǎn)品

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上海玖析科學(xué)儀器有限公司


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數(shù)顯高精度烤膠臺(tái)/加熱臺(tái)/電熱板 實(shí)驗(yàn)室電熱板

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產(chǎn)品型號(hào)HP20/HP30/HP40/HP50

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

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更新時(shí)間:2022-12-12 09:34:02瀏覽次數(shù):346次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

JOXTEC數(shù)顯高精度烤膠臺(tái)/加熱臺(tái)/電熱板被設(shè)計(jì)為控溫精度良好,較高的熱均勻性,簡(jiǎn)單實(shí)用型烤膠機(jī)。升溫速度快,由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制,長(zhǎng)壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱,高硬度、耐腐蝕的陽極氧化鋁面板。適合用于對(duì)各種控溫精度高,熱均勻性要求較高場(chǎng)合

詳細(xì)介紹

JOXTEC數(shù)顯高精度烤膠臺(tái)/加熱臺(tái)/電熱板HP20/HP30/HP40/HP50

光刻膠烘焙裝備的選擇
 光刻工藝及其相干技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要構(gòu)成部門。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序,為增長(zhǎng)膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度,通常接納烘箱或者加熱板等加熱裝備對(duì)光刻膠舉行干燥。烘箱加熱由于速率慢、且加熱易造成表面以及內(nèi)部受熱不均勻,效驗(yàn)欠佳!而熱板易于到達(dá)在膠的厚度標(biāo)的目的且快速均勻烘焙等要求,今朝越來越多地接納熱板加熱的方式。
所以烤膠機(jī)的表面溫度均勻性、溫度控制精疏密程度、溫度上升速率等是選擇烤膠機(jī)的首要性能指標(biāo)思量。

采用高精度溫度控制器,PID控制,解析度0.1℃

14bit的A/D轉(zhuǎn)換分辨率,0.2%FS的顯示精度,取樣時(shí)間250ms,可手動(dòng)補(bǔ)償PV顯示值(PVOS)。內(nèi)建Autozero-Autospan功能,自動(dòng)校正零點(diǎn)及斜率,使顯示精度不因長(zhǎng)時(shí)間而劣化。


自動(dòng)演算(AT):使用自動(dòng)演算功能,可自動(dòng)算出系統(tǒng)*佳化的PID參數(shù)數(shù)值。當(dāng)自動(dòng)演算進(jìn)行中,PV會(huì)上下震動(dòng)1~2個(gè)周期。為保護(hù)使用者的設(shè)備??稍O(shè)定自動(dòng)演算偏移量(ATVL),使PV在數(shù)值較低處震蕩,有效避免沖溫效應(yīng)。

導(dǎo)熱性能優(yōu)良的合金盤面

經(jīng)過多次實(shí)驗(yàn)和測(cè)試,公司研發(fā)出導(dǎo)熱性能優(yōu)良且具有較高強(qiáng)度的合金盤面。保證了盤面加熱溫度的均勻性。并且長(zhǎng)時(shí)間使用不會(huì)變形,平整如初!

加熱元件的均勻排布

公司利用有限元熱分析方法對(duì)加熱板盤面溫度均勻性進(jìn)行了分析,經(jīng)多次模擬分析和調(diào)整,加熱結(jié)構(gòu),優(yōu)化設(shè)計(jì)出了滿足加熱板盤面溫度均勻性可達(dá)*要求的加熱元件排布方式,并以此為主要依據(jù)完成了整體結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。目前加熱板升溫速度快,盤面溫度均勻,加熱元件耐用。

 

HP系列烤膠機(jī)被設(shè)計(jì)為控溫精度良好,較高的熱均勻性,簡(jiǎn)單實(shí)用型烤膠機(jī)。

HP烤膠機(jī)升溫速度快,由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制,長(zhǎng)壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱,高硬度、耐腐蝕的陽極氧化鋁面板。

適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復(fù)性好。可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。 

數(shù)顯高精度烤膠臺(tái)/加熱臺(tái)/電熱板 產(chǎn)品特性:

1、  可同時(shí)顯示設(shè)定溫度與實(shí)際溫度

2、  板面采用鋁合金一體成型,導(dǎo)熱率良好,加熱絕不變形。

3、  陽極硬質(zhì)氧化鋁面板及噴砂處理,具有量好的耐磨、耐酸堿特性。

4、  外殼為不銹鋼材質(zhì)制成

5、  溫度控制:高精度微電腦PID自動(dòng)控制,LED數(shù)字顯示。

6、  溫度范圍:室溫~300℃ 盤面均勻度佳。

7、  可溫度校正,保證顯示溫度與實(shí)際溫度的*性。

8、真空吸附機(jī)型HPV系列

產(chǎn)品外型尺寸:面板尺寸可根據(jù)要求定制

產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格:

型式

HP15

HP20

HP30

HP40

HP60

溫度范圍

300℃(其他溫度定制)

外觀尺寸(WxLxH)

150x150x140mm

200x200x140mm

300x300x140mm

400x400x150mm

300x600x130mm

電熱

700W

800W

1500W

3000W

3000W

電壓

220V

220V

220V

220V

220V

電流

3A

4A

7A

15A

約15A

溫度控制穩(wěn)定度

溫度分辨率:0.1℃

控溫精度:±0.2℃

溫度均勻性:<±1.5%

附件

1、附計(jì)時(shí)功能99小時(shí)59分(選配)

2、程序控溫

 

典型用戶:

宏力半導(dǎo)體、恒諾微電子、信泰光電、統(tǒng)寶光電、風(fēng)華高新、TDK CO., LTD、辰田半導(dǎo)體、上海交大微納院

復(fù)旦大學(xué)微電子系、世紀(jì)晶源科技有限公司、富士邁半導(dǎo)體精密長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所

上海表面等離子光學(xué)實(shí)驗(yàn)室等等

關(guān)鍵詞:溫度控制器

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