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測量范圍	1m3/h	類型	變面積式

日本fcon質(zhì)量流量控制器/儀表1000系列

特征

日本fcon質(zhì)量流量控制器/儀表1000系列

規(guī)格

型號：質(zhì)量流量控制器	C1005	C1020	C1030 / C1050	C1100
型號：質(zhì)量流量計	M1005	M1020	M1030 / M1050	――――
流量（N2轉(zhuǎn)化流量）	10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM	10,20SLM	30,50SLM	100LM
對應氣體類型	各種氣體（腐蝕性氣體請聯(lián)系我們）		空氣 / N2 / Ar / H2 / CO2 / O2 / He	空氣 / N2
閥門類型	NO：常開（不適用于儀表）
控制流量范圍	5-99% FS（不適用于儀表）
流量精度	± 2% FS [* ± 1% FS 可用]（精度保證范圍 15-35 °C） * 詳情請聯(lián)系我們。
流量設(shè)定信號	0.25 至 5VDC（不適用于儀表）
流量輸出信號	0-5VDC
再現(xiàn)性	± 0.2% FS			± 0.5% FS
響應時間	≤ 6 秒			≤15秒
所需壓差	50-300KPa		200-300KPa
耐壓	1MPa (G)
保證工作溫度	5-50℃，85%RH以下
外漏	1 × 10 ^-7 Pa ? m ³ / sec He
安裝姿勢	未規(guī)定（免費）
供電電壓、電流消耗	+ 15VDC：60mA，-15VDC：150mA
通訊方式	模擬：0-5VDC
氣體接觸材料質(zhì)量	SUS316L、聚四氟乙烯、氟橡膠
密封材料質(zhì)量	氟橡膠
執(zhí)行器方式	熱量（不適用于儀表）
表面處理	機加工
連接配件	如需 1 / 4in.SWL（等效）、一鍵式接頭和其他接頭形狀，請聯(lián)系我們。

* 流量單位“SCCM，SLM"為0℃，1013kPa abs（1atm）標定。
* 請說明您是否希望在 20°C 或 25°C 下校準流量單位“CCM, LM"。

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