lintec快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器MC-7000

超快質(zhì)量流量控制器，響應(yīng)時(shí)間為200毫秒。

熱傳感器實(shí)現(xiàn)100msec（典型值）的高速流量控制。 Lintec的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超快速流量控制。

它具有1.0%的SP±流量精度的高精度，可以選擇數(shù)字通信方式DeviceNet和EtherCAT進(jìn)行。

長(zhǎng)處

• 超快流量控制 200 毫秒

• 準(zhǔn)確度±1%SP

• 工作溫度 5~50°C

• 金屬密封件

• 清潔（保證顆粒）

• 環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器

• EtherCAT通信

• 設(shè)備網(wǎng)絡(luò)™通信

超快流量控制

使用示例

快速蝕刻工藝

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，需要在小型化的同時(shí)提高吞吐量。 即使在控制反應(yīng)氣體流量的質(zhì)量流量控制器中，對(duì)縮短流量控制的啟動(dòng)（啟動(dòng)）時(shí)間的需求也在增加。 超高速質(zhì)量流量控制器[MC-7000]是一種非接觸式熱流量傳感器，不接觸流量傳感器和流量測(cè)量氣體，實(shí)現(xiàn)200ms的超高速響應(yīng)。 非接觸式可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體流量測(cè)量的高速流量控制。

lintec快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器MC-7000

規(guī)格