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當(dāng)前位置:深圳市扎克貿(mào)易有限公司>>歐洲進(jìn)口>>MTI>> MTIMTI ALD-1200X-R-4

MTI ALD-1200X-R-4

參   考   價(jià): 1000

訂  貨  量: ≥1  件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)MTI

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2019-11-26 14:18:40瀏覽次數(shù):443次

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產(chǎn)品認(rèn)證 CE認(rèn)證 額定電流 輸入功率:208 – 240V AC輸入A
額定電壓 轉(zhuǎn)速:0-10 RPMV 加工定制
外形尺寸 最大單相。4千瓦mm 溫度范圍 高1200℃
MTI ALD-1200X-R-4 管式爐系統(tǒng)
是一種4英寸旋轉(zhuǎn)管式爐,結(jié)合了兩通道A LD 閥和一通道液汽輸送(原子層沉積)以及四通道氣體輸送,從而通過。既ALD和CVD的智能設(shè)計(jì),使ALD更具成本效益和負(fù)擔(dān)得起的每一個(gè)研究小組。

MTI ALD-1200X-R-4 管式爐系統(tǒng)

旋轉(zhuǎn)粉末ALD 4“管式爐系統(tǒng)(高1200oC)-ALD-1200X-R-4

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   ALD-1200X-R-4是一種4英寸旋轉(zhuǎn)管式爐,結(jié)合了兩通道A LD  閥和一通道液汽輸送(原子層沉積)以及四通道氣體輸送,從而通過。既ALD和CVD的智能設(shè)計(jì),使ALD更具成本效益和負(fù)擔(dān)得起的每一個(gè)研究小組。

規(guī)格:


控制面板

  • 蒸氣,ALD和氣體流量的所有參數(shù)都集成到一個(gè)移動(dòng)推車中,并由PLC通過6英寸觸摸屏進(jìn)行控制: 
    • 兩通道ALD閥
    • 對(duì)于通道MFC氣體輸送 
  • 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖查看控制界面
  

ALD閥

  • 兩個(gè)帶有脈沖控制器的ALD閥(持續(xù)時(shí)間至少10毫秒)
  • 能夠用熱執(zhí)行器加熱

液體蒸氣發(fā)生器

  • 包括自動(dòng)液體蒸氣發(fā)生器,并連接到ALD閥

旋轉(zhuǎn)爐

  • 高1100ºC,可連續(xù)加熱
  • 兩個(gè)可編程的精密數(shù)字溫度控制器,具有30個(gè)段。
  • 輸入功率:208 – 240V AC輸入,大單相。4千瓦
  • 轉(zhuǎn)速:0-10 RPM
  • 4“石英管如下圖

            四個(gè)攪拌葉片                尺寸

防腐蝕壓力表

  • 3.8x10 -5  至1125托測量范圍
  • 防腐蝕,氣體類型獨(dú)立 
  • 大氣中的高精度和可重復(fù)性,可實(shí)現(xiàn)可靠的大氣壓檢測
  • 快速的大氣檢測消除了等待時(shí)間并縮短了處理周期
  • 易于更換的即插即用傳感器元件
  • 點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)規(guī)格。

真空泵 
(可選)

  •  加工管內(nèi)可達(dá)到10E-2 Torr 真空
  • 不包括真空泵,建議您通過單擊下面的圖片訂購用于CVD工藝的干式泵
  •       


更多起泡器
可選


                    
  • 單擊下面的圖片訂購用于CVD的起泡器或蒸發(fā)器
  • 可以增加  Quartz Crysta l和熱電偶  來監(jiān)控薄膜厚度和溫度,但需要額外付費(fèi)

                       

  •  

保證

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管,O形圈和加熱元件)

合規(guī)
    

  • CE認(rèn)證


應(yīng)用筆記單擊此處以了解如何 使用氣體調(diào)節(jié)器

  • 帶石英管的管式爐設(shè)計(jì)用于真空和< 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低壓 
  • ttention:必須在氣瓶安裝的兩級(jí)壓力調(diào)節(jié)器,以限制壓力低于3 PSI安全操作。 
  • 氣體的流量應(yīng)限制為<200 SCCM(或200 ml / min),以減少對(duì)管子的熱沖擊
  • 所有石英管爐的真空極限定義:*真空壓力只能在高1000°C的溫度下安全使用

應(yīng)用

  • 使用ALD可以顯著降低石榴石電解質(zhì)和電極材料之間的高固-固界面阻抗。

 

 

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MTI ALD-1200X-R-4 管式爐系統(tǒng)

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