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賽默飛增強(qiáng)型鎖相熱發(fā)射顯微鏡在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
♦ ELITE (增強(qiáng)型鎖相熱發(fā)射顯微鏡) ，鎖相熱發(fā)射顯微鏡如今已成為高等電性故障分析流程中的技術(shù)手段。有缺陷的或表現(xiàn)不佳的半導(dǎo)體器件...
詳細(xì)介紹
- JEM-3200FS場發(fā)射電子顯微鏡配備了加速電壓為300kV的場發(fā)射電子槍（FEG）和鏡筒內(nèi)置式Ω型能量過濾器，能為廣泛的研究領(lǐng)域提供各種全新的解決方案。
- 鏡筒內(nèi)置式Ω型能量過濾器(omega 過濾器)
- 鏡筒內(nèi)置式Ω型能量過濾器內(nèi)置于成像透鏡系統(tǒng)，能容易地獲得能量過濾像和能量損失譜，同時還能獲得與傳統(tǒng)電子顯微鏡同等的放大倍率范圍。此外、Ω型過濾器的電子光學(xué)系統(tǒng)在設(shè)計上地減少了圖像畸變，出廠前還將剩余一點的畸變做了最后的修正。JEM-3200FS還采用了高靈敏度的相機(jī)系統(tǒng)及圖像處理系統(tǒng)（選配件），可以構(gòu)建元素面分布系統(tǒng)及能量損失譜系統(tǒng)。
- 新型控制系統(tǒng)
- 電子槍、電子光學(xué)系統(tǒng)、測角臺、抽真空系統(tǒng)等電子顯微鏡基本功能的系統(tǒng)化，實現(xiàn)了高穩(wěn)定、高性能的控制系統(tǒng)。圖像畫面和用戶界面采用Windows ®*1，可以進(jìn)行編程操作和附件的集中控制。
- 新型測角臺
- 系統(tǒng)化的新型測角臺內(nèi)置壓電陶瓷驅(qū)動機(jī)構(gòu)，使高倍率下的樣品移動更加精確。*2.
- *1 : 注意事項：Windows是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標(biāo)。
*2 : 僅有壓電元件包括在基本單元中，壓電元件的電源為選配件。
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