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詳細(xì)介紹
橢偏儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。由于測(cè)量精度高，適用于超薄薄膜測(cè)量，
與樣品非接觸，對(duì)樣品沒(méi)有破壞且不需要真寬，使得橢偏儀成為一種吸引力的測(cè)量?jī)x器。
橢偏儀是測(cè)量比率，所以它對(duì)光束強(qiáng)度的變化或樣品的缺陷引起散射光不敏感。橢偏儀在每個(gè)波長(zhǎng)測(cè)量2個(gè)量(Ψ and Δ)，
可以確定2個(gè)定量比如薄膜厚度，以及光學(xué)常數(shù)或基底的折射系數(shù)和消光系數(shù)。橢偏儀對(duì)薄膜Δ參數(shù)相位差極其敏感，能夠準(zhǔn)確的測(cè)量薄膜厚度低至0 Å。
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