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硅片測厚儀 Proforma 300i

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更新時(shí)間：2024-02-13 16:19:26瀏覽次數(shù)：229

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產(chǎn)品簡介

硅片測厚儀 Proforma 300i晶圓幾何特性檢測設(shè)備包括從手動(dòng)到全自動(dòng)的系列產(chǎn)品.檢測幾何參數(shù)包括：Thickness,TTV,Bow, Warp, and Flatness.

詳細(xì)介紹

ProformaTM300i–手動(dòng)晶圓測量工具的精密測量解決方案用于半導(dǎo)體以及硅片的測量系統(tǒng)替代全自動(dòng)硅片

檢測設(shè)備的高性價(jià)比系統(tǒng)硅片尺寸76-300mm高分辨率LCD顯示快速、易于設(shè)置的菜單5點(diǎn)測量，

厚度變化量以及彎曲度測量網(wǎng)口以及RS232電腦接口前方的USB接口方便存儲數(shù)據(jù)可達(dá)1700μm的

測量范圍Proforma300i使用MTI專有的快速、準(zhǔn)確、可靠的非接觸式PUSH-PULL電容探頭。

Proforma300i可測量直徑是300mm硅片的厚度，總厚度變化以及彎曲度。

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