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化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī) 雙工位返回列表頁

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參考價(jià): ￥ 99500

訂貨量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)UNIPOL-1203

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地上海市

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更新時(shí)間：2022-07-22 10:47:27瀏覽次數(shù)：407次

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產(chǎn)品分類品牌分類

金相檢驗(yàn): 劃片切割機(jī) 金相顯微鏡精密切割機(jī) 金相切割機(jī) 金剛石線切割機(jī) 鑲嵌機(jī) 金相磨拋機(jī) 金相預(yù)磨機(jī) 金相拋光機(jī)

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產(chǎn)品簡介

UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī) 雙工位，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)，整機(jī)研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀，全自動(dòng)觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。

詳情介紹

UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī) 雙工位主要特點(diǎn)：

1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。
2、超精旋轉(zhuǎn)軸（托盤端跳小于0.01mm）。
3、設(shè)有兩個(gè)加工工位，可分別進(jìn)行控制。
4、配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板，可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。
5、配置自動(dòng)滴料器，流量速率可視化調(diào)整，自動(dòng)研磨和拋光。
6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調(diào)節(jié)壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)	UNIPOL-1203
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及排水 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：無 4、工作臺(tái)：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置：不需要
主要參數(shù)	主機(jī)部分
	1、電源:220V 2、功率:450W 3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm 4、磨拋工位:2個(gè) 5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔 6、托盤端跳:0.008/250mm 7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm 8、載樣盤:φ105mm 9、修盤環(huán):φ127.5mm
	GPC-100A精密磨拋控制儀
	1、載樣盤直徑：?103mm 2、載樣盤軸向行程：12mm 3、數(shù)顯表精度：0.001mm 4、載樣盤可調(diào)加載壓力： 0.1kg-2.1kg 5、壓力確認(rèn)儀有效量程：1g-5000g 6、樣品裝卡方式：真空吸附 7、承載樣件尺寸：直徑≤103mm、厚度≤12mm 8、尺寸：外徑146mm，高266mm
	自動(dòng)滴料器
	SKZD-2滾筒滴料器 1、容積：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm；重量：3kg SKZD-4自動(dòng)滴料器 1、加液泵：4個(gè) 2、料液瓶：600ml/瓶 3、計(jì)時(shí)范圍：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm；重量：10kg
產(chǎn)品規(guī)格	1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm 2、重量:74Kg